显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题为以高生产率且以高成品率形成具有树脂基板的柔性显示装置。本发明专利技术的概要如下。显示装置在树脂基板100上形成有像素，其特征在于，在所述树脂基板100的与所述像素呈相反侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层12，在所述第1层之上形成有由透明导电膜形成的第2层11。通过该层的存在，从而高效地进行用于聚酰亚胺基板形成的加热。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置
本专利技术涉及显示装置，特别是涉及能够使基板弯曲的柔性显示装置及其制造方法。
技术介绍
有机EL显示装置、液晶显示装置通过使显示装置变薄而能够弯曲使用。另外，通过由聚酰亚胺等树脂形成基板，从而能够形成柔性的显示装置。在由树脂形成的基板上层叠导电层、绝缘层、保护层、电极层等许多膜。在像这样形成大量的膜的情况下，光的透射率成为问题。专利文献1中记载了由将金属层和电介质层交替重叠而成的层叠体形成的NDF(NeutralDensityFilter：中性密度滤光片)。ITO(IndiumTinOxide：铟锡氧化物)等金属氧化物导电膜在可见光下是透明的，但对于红外线等则能够成为反射膜。专利文献2中记载了ITO的透射率或反射率的波长依存性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-54543号公报专利文献2：日本特开平11-160652号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题柔性显示装置使用的树脂基板为10μm至20μm。这样的薄的基板例如在玻璃基板上涂布液体状的树脂并烧结以形成为树脂基板。然后，树脂基板在与玻璃基板一起从制造工序通过并制成为显示面板后，将玻璃基板从树脂基板剥离，制成柔性显示装置。在这样的工艺中存在下述问题。即，对于树脂基板而言，将液体状的前体涂布在玻璃基板上并使其热固化而形成。该热固化需要非常长的时间。另外，若母基板很大，则容易发生不同部位的热固化不均。特别是，若使树脂基板变厚，则容易发生该问题。r>此外，在进行热固化时，根据热固化时的基板的温度分布，由于玻璃基板与树脂基板的热膨胀之差，即使在玻璃基板与树脂基板已组合的状态下，基板也会变形。若基板变形，则很难从制造工艺通过。本专利技术的课题为克服上述问题，能够以高生产率形成品质稳定的显示装置。用于解决课题的手段本专利技术能够克服上述课题，代表性方案如下。(1)显示装置，其为在树脂基板上形成有像素的显示装置，其特征在于，在所述树脂基板的与所述像素呈相反侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层，在所述第1层之上形成有由透明导电膜形成的第2层。(2)显示装置，其具有在由树脂形成的第1基板之上层叠有由树脂形成的第2基板的构成，在所述第2基板上形成有像素，该显示装置的特征在于，在所述第1基板的与所述第2基板呈相反侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层，在所述第1层之上形成有由透明导电膜形成的第2层，在所述第2基板的所述第1基板侧的面上形成有由金属氧化物形成的第3层，在所述第3层之上形成有由透明导电膜形成的第4层。(3)显示装置，其具有在由树脂形成的第1基板之上层叠有由树脂形成的第2基板的构成，在所述第2基板上形成有像素，该显示装置的特征在于，在所述第1基板的与所述第2基板呈相反侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层，在所述第1层之上形成有由透明导电膜形成的第2层，或者，在所述第2基板的所述第1基板侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层，在所述第1层之上形成有由透明导电膜形成的第2层。附图说明图1是有机EL显示装置的俯视图。图2是本专利技术的图1的A-A剖视图。图3是示出本专利技术中将玻璃基板从TFT基板分离的状态的剖视图。图4是示出在玻璃基板之上形成有红外线反射层的状态的剖视图。图5是示出在红外线反射层之上形成有红外线吸收层的状态的剖视图。图6是示出在红外线吸收层之上涂布有聚酰胺酸的状态的剖视图。图7是用于对聚酰胺酸进行加热以形成聚酰亚胺的温度分布。图8是示出根据本专利技术对聚酰胺酸进行加热的机理的剖视图。图9是示出为了从TFT基板分离玻璃基板而照射激光的状态的剖视图。图10是示出将玻璃基板从TFT基板去除后的状态的剖视图。图11是示出在玻璃基板之上形成有剥离层的状态的剖视图。图12是示出在剥离层之上形成有红外线反射层、红外线吸收层、聚酰亚胺的状态的剖视图。图13是示出向剥离层照射激光的状态的剖视图。图14是示出从剥离层将玻璃基板分离后的状态的剖视图。图15是示出实施例2的构成的剖视图。图16是示出实施例2中为了将玻璃基板从TFT基板去除而照射激光的状态的剖视图。图17是在玻璃基板之上形成有第1TFT基板并在其上形成有氧化硅的层的状态的剖视图。图18是氧化硅层之上形成有第2红外线反射层及第2红外线吸收层的状态的剖视图。图19是示出在第2红外线吸收层之上涂布有用于形成第2TFT基板的聚酰胺酸的状态的剖视图。图20是示出对聚酰胺酸进行加热以形成第2TFT基板的状态的剖视图。图21是示出实施例2的第2例的剖视图。图22是示出实施例2的第3例的剖视图。图23是示出实施例2的第4例的剖视图。图24是示出母基板的例子的俯视图。图25是示出实施例3中的红外线吸收层的形成范围的例子的俯视图。图26是图25的B-B剖视图的例子。图27是图25的B-B剖视图的其他例。图28是示出实施例3中的红外线吸收层和红外线反射层的形成范围的其他例的俯视图。图29是图28的C-C剖视图。图30是示出实施例3中的红外线吸收层和红外线反射层的形成范围的另一其他例的俯视图。图31是图30的D-D剖视图。图32是本专利技术的液晶显示装置的俯视图。图33是液晶显示装置的剖视图。图34是本专利技术的液晶显示面板的剖视图。图35是示出为了分离玻璃基板而照射激光的状态的剖视图。图36是示出ITO的透射率、反射率、吸收率的曲线图。图37是示出各种金属氧化物的针对红外线的吸收特性的表。图38是示出铝原子与聚酰亚胺的键的结构图。图39是示出玻璃的透射率的分光特性的例子的曲线图。具体实施方式以下使用实施例详细说明本专利技术的内容。实施例1图1是应用本专利技术的有机EL显示装置的俯视图。本专利技术的有机EL显示装置为能够使之柔性地弯曲的显示装置。因此，形成有TFT(ThinFilmTransistor：薄膜晶体管)、扫描线、电源线、影像信号线、像素电极、有机EL发光层等的TFT基板100由树脂形成。在图1中，在显示区域90的两侧形成有扫描线驱动电路80。在显示区域90中，扫描线91沿横向(x方向)延伸并在纵向(y方向)上排列。影像信号线92及电源线93沿纵向延伸并在横向上排列。由扫描线91、影像信号线92及电源线93包围的区域成为像素95，在像素95内形成有由TFT形成的驱动晶体管、开关晶体管、发光的有机EL发光层等。图2是图1的A-A剖视图。在图2中，TFT基板100由树脂形成。树脂之中，尤其是聚酰亚胺从耐热性、机械强度等角度出发，作为显示装置的基板具有优异的特性。因此，以下作为构成TFT基板100的树脂以聚酰亚胺为前提进行说明，但本专利技术也能够应用于由聚酰亚胺以外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.显示装置，其为在树脂基板上形成有像素的显示装置，所述显示装置的特征在于，/n在所述树脂基板的与形成有所述像素的一侧为相反侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层，/n在所述第1层之上以与相对于面向所述树脂基板的面位于相反侧的面接触的方式形成有由透明导电膜形成的第2层。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180110 JP 2018-0017421.显示装置，其为在树脂基板上形成有像素的显示装置，所述显示装置的特征在于，
在所述树脂基板的与形成有所述像素的一侧为相反侧的面上形成有由金属氧化物形成的第1层，
在所述第1层之上以与相对于面向所述树脂基板的面位于相反侧的面接触的方式形成有由透明导电膜形成的第2层。


2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述树脂基板由聚酰亚胺形成。


3.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述第1层由氧化铝膜形成。


4.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述第1层的厚度为10nm至100nm。


5.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述第2层由ITO形成。


6.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述第2层的厚度为50nm至150nm。


7.显示装置，其具有在由树脂形成的第1基板之上层叠有由树脂形成的第2基板的构成，在所述第2基板上形成有像素，所述显示装置的特征在于，
以与所述第1基板的相对于面向所述第2基板的面位于相反侧的面接触的方式形成有由金属氧化物形成的第1层，以与所述第1层的相对于面向所述第2基板的面位于相反侧的面接触的方式形成有由透明导电膜形成的第2层，
以与所述第2基板的所述第1基板侧的面接触的方式形成有由金属氧化物形成的第3层，以与所述第3层的相对于面向所述第2基板的面位于相反侧的面接触的方式形成有由透明导电膜形成的第4层。


8.根据权利要求7所述的显示装置，其特征在于，所述第1树脂基板和所述第2树脂基板由聚酰亚胺形成。


9.根据权利要求7所述的显示装置，其特征在于，所述第1层和所述第3层由氧化铝膜形成。


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【专利技术属性】
技术研发人员：川中子宽，渡部一史，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：日本;JP