氮化铝层叠构件以及氮化铝层制造技术

本发明专利技术涉及氮化铝层叠构件以及氮化铝层。提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长在表面周期性地形成有突出部的AlN层的技术。氮化铝层叠构件具备：蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及氮化铝层，其设置在基底面上，且具有在各个凸部的顶部上方形成有突出部的表面。

【技术实现步骤摘要】
氮化铝层叠构件以及氮化铝层
本专利技术涉及氮化铝层叠构件以及氮化铝层。
技术介绍
作为例如发光二极管(LED)的制作方法，提出了在形成有周期性的凹凸形状的蓝宝石基板上使氮化铝(AlN)层生长的技术(例如参见非专利文献1)。作为蓝宝石基板的凹凸形状，已知有凹部周期性(且离散)地配置的形状、以及凸部周期性(且离散)地配置的形状。现有技术文献非专利文献非专利文献1：H.Miyake等、“HVPEgrowthofthickAlNontrench-patternedsubstrate”、PhysStatusSolidiC8、No.5、1483-1486(2011)
技术实现思路
专利技术要解决的问题以往的技术中，使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板时，会生长出不规则且杂乱的AlN晶体，因此无法使AlN层以受到控制的形态生长。本专利技术的一个目的在于，提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长出受到控制的形态、具体而言为在表面周期性地形成有突出部的形态的AlN层的技术。用于解决问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化铝层叠构件，其具备：/n蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及，/n氮化铝层，其设置在所述基底面上，且具有在各个所述凸部的顶部上方形成有突出部的表面。/n

【技术特征摘要】
20190213 JP 2019-0239151.一种氮化铝层叠构件，其具备：
蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及，
氮化铝层，其设置在所述基底面上，且具有在各个所述凸部的顶部上方形成有突出部的表面。


2.根据权利要求1所述的氮化铝层叠构件，其中，各个所述突出部具有俯视为六边形的外形。


3.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的高度大于等于所述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。


4.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的高度小于所述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。


5.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的尺寸为最邻近的所述突出部彼此的间距的1/2以下，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。


6.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的尺寸大于最邻近的所述突出部彼此的间距的1/2，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。


7.根据权利要求1～6中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，构成所述突出部的氮化铝的c轴方向在所述突出部彼此间平行。


8.根据权利要求1～7中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，构成所述突出部的氮化铝的a轴方向在所述突出部彼此间平行。


9.根据权利要求1～8中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，构成所述突出部的氮化铝的...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤仓序章，
申请(专利权)人：赛奥科思有限公司，住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP