下载氮化铝层叠构件以及氮化铝层的技术资料

文档序号:25348840

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本发明涉及氮化铝层叠构件以及氮化铝层。提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长在表面周期性地形成有突出部的AlN层的技术。氮化铝层叠构件具备:蓝宝石基板,其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面;以及氮化铝层,其设置在基底...
该专利属于赛奥科思有限公司;住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过赛奥科思有限公司;住友化学株式会社授权不得商用。

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