一种微光学元件透射相位的检测方法技术

本发明专利技术属于微光学元件高精度检测技术领域，具体涉及一种微光学元件透射相位的检测方法。为解决微光学元件透射相位信息的高精度检测问题。本发明专利技术采用的方法首先通过软件程序设计出微光学元件理想全息图，加载在空间光调制器上，通过计算机进行调制，将调制后的参考光路与物光干涉得到新的全息图。根据液晶空间光调制器的相位调制范围，使其作为相位补偿器，最终得到的新全息图实现了相位信息的补偿。

【技术实现步骤摘要】
一种微光学元件透射相位的检测方法
本专利技术属于微光学元件高精度检测
，具体涉及一种微光学元件透射相位的检测方法。
技术介绍
随着微电子技术和光通信技术的快速发展，微加工工艺和微光学元件得到广泛应用。由于微光学元件具有重量轻、体积小、易于集成等优点而受到广泛的关注。目前对微光学器件表面粗糙度有较高要求，且一般为三维结构，因此针对微光学元件的相位检测成为当前研究的热点。当前定量检测微光学元件的三维面形信息成为光学检测系统中的重要技术问题。对于微光学元件高精度检测问题，目前光学探针式测量方法以聚集光束作为探针，通过测量光程差来检测表面面形信息，此方法以探针的方式获得点数据，要结合高准确度的扫描设备才能实现全场扫描，在实验操作过程中无法实现无接触测量，对元件表面具有一定损坏。随后提出了原子力显微镜、白光干涉仪等设备都可检测出微光学元件三维信息，但其逐点扫描的方式以及繁琐的操作过程降低了检测的效率，并且此方法侧重检测微光学元件三维轮廓，不能准确测量相位信息。因此实现非接触测量、精度高和响应速度快的要求显得尤为重要。r>数字全息技术是近本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微光学元件透射相位的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：/n步骤一：建立相位补偿数字全息测量光路/n搭建马赫泽德干涉光路，在此光路上引入相位补偿系统(5)，测量光路由激光器(1)产生的激光经扩束准直系统(2)后，通过分光棱镜(3)分为两路：一路为物光光束，在反射镜(6)进行转向，光线垂直入射待测微光学元件(7)到分光棱镜(8)；另一路为参考光光束，光线扩束准直(2)到反射镜(4)，经相位补偿系统(5)后携带理想灰度图相位波面信息；两束光通过分光棱镜(8)合束后产生全息干涉，由CCD相机(9)的靶面记录，最终在计算机(10)进行相位重建；/n步骤二：利用空间光调制器构建补偿相位/n根据空...

【技术特征摘要】
1.一种微光学元件透射相位的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：建立相位补偿数字全息测量光路
搭建马赫泽德干涉光路，在此光路上引入相位补偿系统(5)，测量光路由激光器(1)产生的激光经扩束准直系统(2)后，通过分光棱镜(3)分为两路：一路为物光光束，在反射镜(6)进行转向，光线垂直入射待测微光学元件(7)到分光棱镜(8)；另一路为参考光光束，光线扩束准直(2)到反射镜(4)，经相位补偿系统(5)后携带理想灰度图相位波面信息；两束光通过分光棱镜(8)合束后产生全息干涉，由CCD相机(9)的靶面记录，最终在计算机(10)进行相位重建；
步骤二：利用空间光调制器构建补偿相位
根据空间光调制器的相位与灰度理论关系，将设计的微光学元件理想相位数据转换成0～255的灰度编码图，将编码图加载到液晶空间光调制器，获得空间光调制器输出理想灰度图相位波面的相位值为σ(t)；
步骤三：补偿相位与被测件相位的对准
通过计算机控制参考光路上加载在液晶空间光调制器上的理想全息图位置，使微光学元件上的相位信息与物光光路上的光学元件对准，进行补偿，所述对准过程首先遮挡参考光路，将微光学元...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丙才，冯方，田爱玲，朱学亮，王红军，刘卫国，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61