一种光栅微位移传感器制造技术

技术编号:2533215 阅读:221 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种光栅微位移传感器,该传感器包括测量杆(1)、导套(2)、主体(3)、拉簧(5)、测量座(8)、光电板(9)、指示光栅(10)、标尺光栅(11)、电路板(12)、外壳(13)和定位装置,定位装置由导向销(4)和弓形导向块(7)构成,导向销(4)安装在测量杆(1)上,弓形导向块(7)通过紧固件安装在主体(3)上,导向销(4)的两端伸出测量杆(1),并且在测量杆(1)移动时在弓形导向块(7)的平面上移动,从而限制测量杆(1)的转动,拉簧(5)位于弓形导向块(7)的凹腔内。本实用新型专利技术结构紧凑、体积小、测量精确。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种位移传感器,特别是涉及一种光栅微位移传感器,它能够测量出0.1微米级的被测量体。
技术介绍
光栅微位移传感器作为一种精密测量装置,在它内部都安装有导向、 定位元件、导向元件使测量杆只能沿一个方向移动, 一般所采用的导向元件为导套;定位元件则限制测量杆的转动,使得标尺光栅相对于主体始终 在一个平面上移动,从而保证测量的精确性。现有的光栅微位移传感器所 采用的定位元件通常由导向杆、导向体和拨叉构成,导向杆通过拨叉与测 量杆连接并位于测量杆的一侧,当测量杆移动时,导向杆在导向体上滑动, 从而达到限制测量杆转动的目的。这种结构的光栅微位移传感器,由于定 位元件采用的是导向杆并安装在测量杆的一侧,因此体积较大,在某些测 量现场无法使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种体积小、结构紧凑的光栅微位移传感器。为达到上述目的,本技术采用的解决方案是该光栅微位移传感 器包括测量杆、导套、主体、拉簧、测量座、光电板、指示光栅、标尺光 栅、电路板、外壳和定位元件,其中标尺光栅与测量杆连接在一起,指示 光栅与测量座连接在一起并固定在主体上,两个光电板分别安装在测量座 和主体上,电路板置于外壳中,所述定位元件由导向销和弓形导向块构成,导向销沿径向安装在测量杆的孔中,弓形导向块通过紧固件与主体连接, 导向销的两端伸出测量杆并可滑动地位于弓形导向块的平面上,拉簧位于 导向块的凹腔内,它的一端连接在测量杆上的挂簧销上,另一端连接在主 体上的挂簧销上。本技术是这样工作的当移动测量杆进行测量时,标尺光栅随测 量杆一起移动,同时导向销和弓形导向块限制测量杆转动,使得标尺光栅 相对于主体始终在一个平面上移动,并和指示光栅产生相对移动而形成摩 尔条纹,然后通过光电板将光栅副的机械运动转换成电信号,最后经电路 板处理后输出用户所需要的电信号。本技术由于采用了导向销和弓形导向块构成的定位装置,并使导 向销安装在测量杆上,拉簧安装在弓形导向块的凹腔内,电路板置于外壳 内,因此本技术具有结构紧凑、体积小、测量精确、使用方便等优点, 弥补了现有光栅微位移传感器在某些测量现场因体积大而无法使用的缺 陷。附图说明图l为本技术的剖视图。图2为图1的M-M放大视图。图中l一测量杆 2—导套 3—主体 4一导向销 5— 拉簧6—挂簧销 7—弓形导向块 8—测量座.9一光电板 10—指示光栅 11—标尺光栅 12—电路板 13—外壳具体实施方式如图1、图2所示,本技术由测量杆l、导套2、主体3、导向销4、 拉簧5、挂簧销6、弓形导向块7、测量座8、光电板9、指示光栅IO、标 尺光栅11、电路板12和外壳13构成,标尺光栅11与测量杆1粘接在一起, 指示光栅10与测量座8粘接在一起并固定在主体3上,光电板9为两个,分别安装于测量座8和主体3上,电路板12置于外壳13中,信号线从尾 部拉出。本技术采用的定位装置包括导向销4和弓形导向块7,导向 销4沿径向安装在测量杆1的孔中,它的两端从测量杆伸出,弓形导向块7 通过螺钉固定在主体3上,拉簧5位于弓形导向块7的凹腔内,它的一端 连接在测量杆1上的挂簧销6上,另一端连接在主体3上的挂簧销上。导 向销4的伸出测量杆1的两端当测量杆1移动时在弓形导向块7两侧的平 面上移动。为了便于安装时调节弓形导向块7的位置,使弓形导向块7的 两侧供导向销4滑动的平面与导向销4配合更好,本技术采用了两种 螺钉,如图2所示, 一种螺钉的下端沉入主体3中将弓形导向块7与主体3 连接,另一种螺钉的下端面正好抵在主体3的平面上,这样通过调节这种 螺钉就能调节弓形导向块7的位置。本技术所采用的由导向销4和弓形导向块7构成的定位装置结构 简单、布局紧凑,成功地实现了移动部件与定位部件的有机结合,使光栅 微位移传感器的小型化变成了现实。权利要求1.一种光栅微位移传感器,包括测量杆(1)、导套(2)、主体(3)、拉簧(5)、测量座(8)、光电板(9)、指示光栅(10)、标尺光栅(11)、电路板(12)、外壳(13)和定位元件,其中标尺光栅(11)与测量杆(1)连接在一起,指示光栅(10)与测量座(8)连接在一起并固定在主体(3)上,两个光电板(9)分别安装在测量座(8)和主体(3)上,电路板(12)置于外壳(13)中,其特征在于定位元件包括导向销(4)和弓形导向块(7),导向销(4)沿径向安装在测量杆(1)的孔中,弓形导向块(7)通过紧固件与主体(3)连接,导向销(4)的两端伸出测量杆(1)并可滑动地位于弓形导向块(7)的平面上,拉簧(5)位于弓形导向块(7)的凹腔内,它的一端连接在测量杆(1)上的挂簧销(6)上,另一端连接在主体(3)上的挂簧销上。专利摘要本技术公开了一种光栅微位移传感器,该传感器包括测量杆(1)、导套(2)、主体(3)、拉簧(5)、测量座(8)、光电板(9)、指示光栅(10)、标尺光栅(11)、电路板(12)、外壳(13)和定位装置,定位装置由导向销(4)和弓形导向块(7)构成,导向销(4)安装在测量杆(1)上,弓形导向块(7)通过紧固件安装在主体(3)上,导向销(4)的两端伸出测量杆(1),并且在测量杆(1)移动时在弓形导向块(7)的平面上移动,从而限制测量杆(1)的转动,拉簧(5)位于弓形导向块(7)的凹腔内。本技术结构紧凑、体积小、测量精确。文档编号G01D5/26GK201138193SQ20082006164公开日2008年10月22日 申请日期2008年1月7日 优先权日2008年1月7日专利技术者进 谭, 邹成全, 黄广型 申请人:成都远恒精密测控技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光栅微位移传感器,包括测量杆(1)、导套(2)、主体(3)、拉簧(5)、测量座(8)、光电板(9)、指示光栅(10)、标尺光栅(11)、电路板(12)、外壳(13)和定位元件,其中标尺光栅(11)与测量杆(1)连接在一起,指示光栅(10)与测量座(8)连接在一起并固定在主体(3)上,两个光电板(9)分别安装在测量座(8)和主体(3)上,电路板(12)置于外壳(13)中,其特征在于:定位元件包括导向销(4)和弓形导向块(7),导向销(4)沿径向安装在测量杆(1)的孔中,弓形导向块(7)通过紧固件与主体(3)连接,导向销(4)的两端伸出测量杆(1)并可滑动地位于弓形导向块(7)的平面上,拉簧(5)位于弓形导向块(7)的凹腔内,它的一端连接在测量杆(1)上的挂簧销(6)上,另一端连接在主体(3)上的挂簧销上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄广型邹成全谭进
申请(专利权)人:成都远恒精密测控技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:90[中国|成都]

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