下载一种光栅微位移传感器的技术资料

文档序号:2533215

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本实用新型公开了一种光栅微位移传感器,该传感器包括测量杆(1)、导套(2)、主体(3)、拉簧(5)、测量座(8)、光电板(9)、指示光栅(10)、标尺光栅(11)、电路板(12)、外壳(13)和定位装置,定位装置由导向销(4)和弓形导向块(...
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