【技术实现步骤摘要】
一种用于固定管状靶材的卡盘
本技术涉及一种用于固定管状靶材的卡盘，属于靶材制造
技术介绍
溅射靶材通常应用于集成电路、液晶显示屏、激光存储器等电子及信心产业，通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统将对应粉末经高温熔化后喷涂并附着于基板上，形成各种功能薄膜。管状靶材在烧结完成后，其外径表面的平滑度和尺寸往往无法达到客户要求，因而需要将其固定在夹持工装上，由夹持工装带动管状靶材快速旋转，再利用砂轮打磨其外径。现有技术中用于固定管状靶材的夹持工装大多采用卡盘，但大多只能夹持固定尺寸的管状靶材，且卡盘与管状靶材之间刚性接触，在对诸如陶瓷靶材进行夹持时，往往因贴合性欠佳导致无法可靠夹持而影响打磨精度，有时还会对靶材本身造成损伤。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种用于固定管状靶材的卡盘，以解决现有技术中夹固管状靶材用的卡盘只能夹持固定尺寸的管状靶材，且卡盘与管状靶材之间刚性接触，容易影响管状靶材的打磨精度甚至造成其损失的技术问题。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案...
【技术保护点】
1.一种用于固定管状靶材的卡盘，其特征是，包括卡盘本体，所述卡盘本体包括不少于一个同轴心的支撑盘（1），所述支撑盘（1）侧面套接有柔性圈体，所述支撑盘（1）上下端面设有与其同轴心的轴杆（3），相邻支撑盘（1）之间通过所述轴杆（3）固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于固定管状靶材的卡盘，其特征是，包括卡盘本体，所述卡盘本体包括不少于一个同轴心的支撑盘（1），所述支撑盘（1）侧面套接有柔性圈体，所述支撑盘（1）上下端面设有与其同轴心的轴杆（3），相邻支撑盘（1）之间通过所述轴杆（3）固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于固定管状靶材的卡盘，其特征是，所述支撑盘（1）侧面为与柔性圈体外形相吻合的凹形面（6），所述柔性圈体部分收容于所述凹形面（6）内。
3.根据权利要求1所述的用于固定管状靶材的卡盘，其特征是，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周其刚，黄家荣，
申请(专利权)人：南京欧美达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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