基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器。依次包括输入波导，１×２光功分器、两个非对称马赫曾德臂、２×１合波器，输出波导连接而成。本实用新型专利技术的马赫曾德干涉仪的两个臂－参考臂和测量臂分别采用两种宽度不同的波导，波导采用脊型光波导结构，待测液体作为光波导的覆盖层，待测液体折射率的变化引起的参考臂和测量臂的相位变化不等，从而在输出端引起干涉。通过测量最终的输出能量，可以测量响应的折射率变化。本实用新型专利技术采用非对称马赫曾德臂直接引入相位差，无需刻蚀液体槽，大大简化工艺难度，无需套刻工艺，同时拥有与传统马赫曾德型传感器比拟的特性。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及传感器
，特别是涉及基于非对称干涉臂马赫曾德(Mach-Zehnder)干涉仪型传感器。
技术介绍
随着现代测量、控制和自动化技术的发展，传感器在各个领域中的作用日益显著，并成为决定系统质量的关键性器件。传感器主要是将各种非电量(包括物理量、化学量、生物量等)转换成便于处理和传输的另一种物理量的装置。光波具有强大的传递信息和处理信息的能力，并且各种光电探测设备(如光电二级管、功率计、光谱仪等)应用普遍，故而光波常被作为信息载体而成为过渡物理量。作为传感器的一个重要分支，近年来光学传感器发展迅猛，集成光波导传感器是光学传感器的一个新的发展方向，它采用类似于半导体集成电路的方法，把光学元件以薄膜形式集成在同一衬底上形成集成光路。集成光波导传感器继承了光纤传感器的优点，而且还更有利于实现多功能集成、紧凑封装和批量生产，以及拥有小型轻量、稳定可靠、低耗高效等其他结构传感器无法比拟的优势，在环境保护、生命科学、航天航空领域得到广泛的应用。马赫-曾德干涉仪则是最易于实现的波导干涉仪方案。马赫-曾德干涉仪传感器不但克服了表面等离子波传感器和光栅耦合仪传感器在向未来高度集成化、微型本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器，其特征在于：依次包括输入波导（１），１×２光功分器（２）、两个非对称马赫曾德臂、２×１合波器（９），输出波导（１０）连接而成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙淼，何赛灵，时尧成，戴道锌，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]