一种新型的双带通滤光片的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种新型的双带通滤光片的制备方法，包括如下步骤：S1、预处理：挑选合适的玻璃片，放入超声波清洗机中清洗，通过离心干燥机甩干，检查玻璃片表面有无瑕疵，并在玻璃片正面表面划分若干彼此交替排布的A区与B区；S2、一次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；S3、A区镀膜：在所有的A区区域镀可见光透过红外截止滤光膜；本发明专利技术制备的单个滤光片上同时存在可见光和红外940nm滤膜，形成双通带滤光片；制备过程中分开镀膜，可以兼顾可见光透过带宽以及3D结构光940nm镀膜光谱的优点；由3D结构光940nm镀膜光谱可知：入射光0度‑30度，光谱中心波长漂移量<12nm，光学技术性能优良。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的双带通滤光片的制备方法
本专利技术涉及滤光片
，具体为一种新型的双带通滤光片的制备方法。
技术介绍
滤光片是用来选取所需辐射波段的光学器件。滤光片的一个共性，就是没有任何滤光片能让天体的成像变得更明亮，因为所有的滤光片都会吸收某些波长，从而使物体变得更暗。现有的双带通滤光片由于材料折射率等固有特性及现有镀膜技术的限制，往往会存在以下缺点：可见光区域透过带窄、截止区域截止深度不好（OD<3）；红外940nm窄带随光线入射角增大，窄带漂移量大；光学薄膜设计中薄层（单层薄膜厚度<20nm）较多，实际镀膜复现性较差，不良率高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种新型的双带通滤光片的制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型的双带通滤光片的制备方法，包括如下步骤：S1、预处理：挑选合适的玻璃片，放入超声波清洗机中清洗，通过离心干燥机甩干，检查玻璃片表面有无瑕疵，并在玻璃片正面表面划分若干彼此交替排布的A区与B区；S2、一次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；S3、A区镀膜：在所有的A区区域镀可见光透过红外截止滤光膜；S4、一次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；S5、二次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；S6、B区镀膜：在所有的B区区域镀3D结构光940nm窄带滤光膜；S7、二次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；S8、背面AR镀膜：在玻璃片背面镀宽屏增透AR膜；S9、清洗、检验：将成品放入超声波清洗机中，洗净甩干，取出检查外观是否合格。优选的，所述一次前处理和二次前处理具体包括如下步骤：A1、光刻胶旋涂：在玻璃片表面涂胶；A2、光刻曝光；A3、光刻胶固化，将玻璃片放入无尘烘箱中，烘烤固化；A4、光刻显影：去除待镀膜区域的光刻胶；A5、清洗检验。优选的，所述一次后处理和第二后处理具体包括如下步骤：显影去胶，依次使用显影液与去胶液将玻璃片上残留的胶层去除。优选的，所述步骤S7和步骤S8之间还包括清洗工序，具体包括如下步骤：将玻璃片放入超声波清洗机中清洗，检查外观是否出现瑕疵，再通过离心干燥机甩干。优选的，所述步骤S1中的A区与B区之间的间隙小于30μm。优选的，所述步骤S1中挑选的玻璃片的半径为10.16cm，厚度为0.27-0.33cm。优选的，所述A区的宽度为2.47-2.53cm。优选的，所述B区的宽度为6.97-7.03cm。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术制备的单个滤光片上同时存在可见光和红外940nm滤膜，形成双通带滤光片；制备过程中分开镀膜，可以兼顾可见光透过带宽以及3D结构光940nm镀膜光谱的优点；由3D结构光940nm镀膜光谱可知：入射光0度-30度，光谱中心波长漂移量<12nm，光学技术性能优良。附图说明图1为本制备方法制取的滤光片表面的分区示意图；图2为本制备方法制取的滤光片的3D结构光940nm镀膜光谱的示意图；图3为本制备方法制取的滤光片的可见光透过红外截止光谱的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1～3，本专利技术提供一种技术方案：一种新型的双带通滤光片的制备方法，包括如下步骤：S1、预处理：挑选合适的玻璃片，放入超声波清洗机中清洗，通过离心干燥机甩干，检查玻璃片表面有无瑕疵，并在玻璃片正面表面划分若干彼此交替排布的A区与B区；S2、一次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；S3、A区镀膜：在所有的A区区域镀可见光透过红外截止滤光膜；S4、一次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；S5、二次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；S6、B区镀膜：在所有的B区区域镀3D结构光940nm窄带滤光膜；S7、二次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；S8、背面AR镀膜：在玻璃片背面镀宽屏增透AR膜；S9、清洗、检验：将成品放入超声波清洗机中，洗净甩干，取出检查外观是否合格。所述一次前处理和二次前处理具体包括如下步骤：A1、光刻胶旋涂：在玻璃片表面涂胶；A2、光刻曝光；A3、光刻胶固化，将玻璃片放入无尘烘箱中，烘烤固化；A4、光刻显影：去除待镀膜区域的光刻胶；A5、清洗检验。所述一次后处理和第二后处理具体包括如下步骤：显影去胶，依次使用显影液与去胶液将玻璃片上残留的胶层去除。所述步骤S7和步骤S8之间还包括清洗工序，具体包括如下步骤：将玻璃片放入超声波清洗机中清洗，检查外观是否出现瑕疵，再通过离心干燥机甩干。所述步骤S1中的A区与B区之间的间隙小于30μm。所述步骤S1中挑选的玻璃片的半径为10.16cm，厚度为0.27-0.33cm。所述A区的宽度为2.47-2.53cm。所述B区的宽度为6.97-7.03cm。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型的双带通滤光片的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：/nS1、预处理：挑选合适的玻璃片，放入超声波清洗机中清洗，通过离心干燥机甩干，检查玻璃片表面有无瑕疵，并在玻璃片正面表面划分若干彼此交替排布的A区与B区；/nS2、一次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；/nS3、A区镀膜：在所有的A区区域镀可见光透过红外截止滤光膜；/nS4、一次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；/nS5、二次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；/nS6、B区镀膜：在所有的B区区域镀3D结构光940nm窄带滤光膜；/nS7、二次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；/nS8、背面AR镀膜：在玻璃片背面镀宽屏增透AR膜；/nS9、清洗、检验：将成品放入超声波清洗机中，洗净甩干，取出检查外观是否合格。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型的双带通滤光片的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1、预处理：挑选合适的玻璃片，放入超声波清洗机中清洗，通过离心干燥机甩干，检查玻璃片表面有无瑕疵，并在玻璃片正面表面划分若干彼此交替排布的A区与B区；
S2、一次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；
S3、A区镀膜：在所有的A区区域镀可见光透过红外截止滤光膜；
S4、一次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；
S5、二次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；
S6、B区镀膜：在所有的B区区域镀3D结构光940nm窄带滤光膜；
S7、二次后处理：对镀膜后的玻璃片进行后续处理；
S8、背面AR镀膜：在玻璃片背面镀宽屏增透AR膜；
S9、清洗、检验：将成品放入超声波清洗机中，洗净甩干，取出检查外观是否合格。


2.根据权利要求1所述的一种新型的双带通滤光片的制备方法，其特征在于：所述一次前处理和二次前处理具体包括如下步骤：
A1、光刻胶旋涂：在玻璃片表面涂胶；
A2、光刻曝光；
A3、光刻胶固化，将玻璃片放入无尘烘箱中，烘烤固化；
A4、光刻显影：去除待镀膜区域的光刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：王英剑，孟庆宣，
申请(专利权)人：苏州京浜光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32