一种可见光变角度带通滤光膜制造技术

技术编号:25287555 阅读:20 留言:0更新日期:2020-08-14 23:21
本实用新型专利技术公开了一种可见光变角度带通滤光膜,该可见光角度带通滤光膜的膜系结构为:Sub/(HL)^S/Air;其中,Sub表示基底材料层,基底材料层为硼硅酸盐玻璃;H表示高折射率材料层,高折射率材料层为Ti3O5;L表示低折射率材料层,低折射率材料层为SiO2;S表示HL的重复次数,即反射周期数,反射周期数为26;Air表示空气。本带通滤光膜针对400‑700nm可见光工作波长,能够在0°‑33°的角度范围内工作,可以在手机、移动相机、地形勘测、航拍仪、生物医学仪器、分析仪器及各类先进的多维成像系统中得到广泛应用。

【技术实现步骤摘要】
一种可见光变角度带通滤光膜
本技术涉及一种带通滤光膜,尤其涉及一种可见光变角度带通滤光膜。
技术介绍
目前随着可见光类仪器小型化、紧凑性的发展,在400-700nm范围内为了实现稳定地移动成像,可以实时、可靠、较高精度地获取未知图像信息,采用多维变角度的光学系统成为了通用设计方式。近年来,光学薄膜对于此类光学系统更加至关重要,例如多层滤光膜在移动成像、多维拍摄、分析仪器及先进的光学系统中被不断采用,另外不仅每种透镜和反射镜都需要镀膜,以达到特定的性能指标,而且为了提升图像质量,需要在可变角使用情况下对于可见光能量降低信噪比,提升响应度,以达到更好的输出,因此,可见光变角度带通滤光膜就成为应用于上述光学系统的典型代表。然而,在现有技术中,带通滤光薄膜是针对特定单一角度入射光的情况,0°光谱满足的设计结构,在变角度如33°的情况下是难以使用,并且相关的滤光膜相对于其它种类的薄膜存在可变角度设计、材料选择的技术难点,在一定程度上已经制约了光学系统性能的有效提升。
技术实现思路
为了解决上述技术所存在的不足之处,本技术提供了一种可见光变角度带通滤光膜。为了解决以上技术问题,本技术采用的技术方案是:一种可见光变角度带通滤光膜,其膜系结构为:Sub/(HL)^S/Air其中,Sub表示基底材料层,基底材料层为硼硅酸盐玻璃;H表示高折射率材料层,高折射率材料层为Ti3O5;L表示低折射率材料层,低折射率材料层为SiO2;S表示HL的重复次数,即反射周期数,反射周期数为26;Air表示空气。进一步地,基底材料BK7玻璃。进一步地,在该可见光变角度带通滤光膜中,与基底材料层相邻的膜层为第1层,与空气相邻的膜层为第52层,第1~52层的几何厚度值为:第1层9.717nm,第2层35.959nm,第3层114.587nm,第4层169.829nm,第5层103.565nm,第6层154.212nm,第7层99.783nm,第8层155.651nm,第9层97.957nm,第10层155.034nm,第11层97.565nm,第12层153.801nm,第13层97.891nm,第14层154.521nm,第15层96.652nm,第16层156.062nm,第17层97.239nm,第18层157.911nm,第19层98.739nm,第20层155.651nm,第21层99.065nm,第22层162.534nm,第23层100.891nm,第24层162.534nm,第25层105.261nm,第26层168.596nm,第27层109.696nm,第28层180.206nm,第29层116.478nm,第30层187.911nm,第31层119.544nm,第32层189.658nm,第33层121.37nm,第34层191.096nm,第35层121.696nm,第36层192.432nm,第37层120.848nm,第38层192.637nm,第39层121.435nm,第40层192.123nm,第41层121.565nm,第42层193.048nm,第43层121.174nm,第44层192.226nm,第45层121.565nm,第46层190.685nm,第47层120.717nm,第48层190.274nm,第49层119.022nm,第50层186.575nm,第51层117.522nm,第52层92.26nm。进一步地,设计波长为600nm时,该可见光变角度带通滤光膜的具体膜系结构为:SUB\0.149H0.350L1.757H1.653L1.588H1.501L1.530H1.515L1.502H1.509L1.496H1.497L1.501H1.504L1.482H1.519L1.491H1.537L1.514H1.515L1.519H1.582L1.547H1.582L1.614H1.641L1.682H1.754L1.786H1.829L1.833H1.846L1.861H1.860L1.866H1.873L1.853H1.875L1.862H1.870L1.864H1.879L1.858H1.871L1.864H1.856L1.851H1.852L1.825H1.816L1.802H0.898L\AIR。本技术提供了一种可见光变角度带通滤光膜,其形成的薄膜产品针对400-700nm可见光工作波长,能够在0°-33°的角度范围内工作,具备膜层均匀性好、高峰值透过率、高带外抑制比、中心波长稳定性好、膜层损耗及应力小、牢固度高等优点;可以在手机、移动相机、地形勘测、航拍仪、生物医学仪器、分析仪器及各类先进的多维成像系统中得到广泛应用。附图说明图1为本技术的光学结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本新型公开了一种可见光变角度带通滤光膜,其膜系结构为:Sub/(HL)^S/Air其中,Sub表示基底材料层,基底材料层为硼硅酸盐玻璃;H表示高折射率材料层,高折射率材料层为Ti3O5;L表示低折射率材料层,低折射率材料层为SiO2;S表示HL的重复次数,即反射周期数,反射周期数为26;Air表示空气。如图1所示,为本可见光变角度带通滤光膜的光学结构示意图,图中,表示高折射率材料的四分之一波厚,表示低折射率材料的四分之一波厚;以设计波长为600nm时为例具体膜系结构为:SUB\0.149H0.350L1.757H1.653L1.588H1.501L1.530H1.515L1.502H1.509L1.496H1.497L1.501H1.504L1.482H1.519L1.491H1.537L1.514H1.515L1.519H1.582L1.547H1.582L1.614H1.641L1.682H1.754L1.786H1.829L1.833H1.846L1.861H1.860L1.866H1.873L1.853H1.875L1.862H1.870L1.864H1.879L1.858H1.871L1.864H1.856L1.851H1.852L1.825H1.816L1.802H0.898L\AIR;对应上述膜系结构,在该可见光变角度带通滤光膜中,设与基底材料层相邻的膜层为第1层,与空气相邻的膜层为第52层,第1~52层的几何厚度值为:第1层92.26nm,第2层117.522nm,第3层186.575nm,第4层119.022nm,第5层190.274nm,第6层120.717nm,第7层190.685nm,第8层121.565nm,第9层192.226nm,第10层121.174nm,第11层193.048nm,第12层121.565nm,第13层192.123nm,第14层121.435nm,第15层192.637nm,第16层120.848nm,第17层192.432nm,第18层121.696nm,第19层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可见光变角度带通滤光膜,其特征在于:该可见光角度带通滤光膜的膜系结构为:/nSub/(HL)^S/Air/n其中,Sub表示基底材料层,基底材料层为硼硅酸盐玻璃;H表示高折射率材料层,高折射率材料层为Ti

【技术特征摘要】
1.一种可见光变角度带通滤光膜,其特征在于:该可见光角度带通滤光膜的膜系结构为:
Sub/(HL)^S/Air
其中,Sub表示基底材料层,基底材料层为硼硅酸盐玻璃;H表示高折射率材料层,高折射率材料层为Ti3O5;L表示低折射率材料层,低折射率材料层为SiO2;S表示HL的重复次数,即反射周期数,反射周期数为26;Air表示空气。


2.根据权利要求1所述的可见光变角度带通滤光膜,其特征在于:所述基底材料为BK7玻璃。


3.根据权利要求1所述的可见光变角度带通滤光膜,其特征在于:在该可见光变角度带通滤光膜中,与基底材料层相邻的膜层为第1层,与空气相邻的膜层为第52层,第1~52层的几何厚度值为:第1层9.717nm,第2层35.959nm,第3层114.587nm,第4层169.829nm,第5层103.565nm,第6层154.212nm,第7层99.783nm,第8层155.651nm,第9层97.957nm,第10层155.034nm,第11层97.565nm,第12层153.801nm,第13层97.891nm,第14层154.521nm,第15层96.652nm,第16层156.062nm,第17层97.239nm,第18层157.911nm,第19层98.739nm,第20层155.651nm,第21层99.065nm,第22层162.534nm,第23层100.891nm,第24层162.534nm,第25层105.261nm,第26层168.596nm,第27层109.696nm,第28层180.206nm,第29层116.478nm,第30层187.91...

【专利技术属性】
技术研发人员:岳威韩永昶张阔刘连泽李金岩
申请(专利权)人:北京华北莱茵光电技术有限公司
类型:新型
国别省市:北京;11

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