一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式制造技术

本发明专利技术涉及一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块、第一传感器和固定架，所述固定块的内部连接有摩擦块架，且摩擦块架外部一侧设置有手指，所述手指的内部安置有夹持架，且夹持架的顶端外部四周固定有防护板，所述手指的一侧设置有固定架，且固定架的内部一侧设置有第二传感器,本发明专利技术的有益效果是：当整个运行系统出现故障时，第二传感器检测手指上是否有晶圆，如果晶圆在手指上，系统报警，需要移出晶圆，系统回到原点，当第二传感器和第一传感器共同工作时，如果晶圆在第二传感器和第一传感器检测线内，机械手搬运到下一个工序，如果晶圆不在第一传感器检测线内，系统报警。

【技术实现步骤摘要】
一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式
本专利技术涉及机械手搬运晶圆
，具体为一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式。
技术介绍
机械手从载料台的晶圆盒中取出晶圆，放置到校准装置上，校准装置检测晶圆缺口，计算出晶圆圆心，将晶圆移动到制定角度和位置。校准合格后，再利用机械手取出晶圆，然后搬运到用于处理晶圆的下一道工序。在晶圆的搬运过程中，机械手的手指承载晶圆，通常情况下采用真空吸附方式固定晶圆。市场上的机械手搬运晶圆在实际生产过程中发现，真空吸附方式很大程度上取决于气源系统是否稳定，如果气源系统不稳定，系统会频繁报警，而且手指与晶圆接触面积大，机械手工作一段时间后，手指上会落灰有杂质，会污染晶圆表面，严重影响工艺制程的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，以解决上述
技术介绍
中提出的市场上的机械手搬运晶圆，在实际生产过程中发现，真空吸附方式很大程度上取决于气源系统是否稳定，如果气源系统不稳定，系统会频繁报警，而且手指与晶圆接触面积大，机械手工作一段时间后，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块(1)、第一传感器(4)和固定架(6)，其特征在于：所述固定块(1)的内部连接有摩擦块架(2)，且摩擦块架(2)外部一侧设置有手指(3)，所述手指(3)的内部安置有夹持架(7)，且夹持架(7)的顶端外部四周固定有防护板(8)，所述手指(3)的一侧设置有固定架(6)，且固定架(6)的内部一侧设置有第二传感器(5)，所述固定架(6)靠近手指(3)的底端中部一侧安装有第一传感器(4)，所述固定架(6)的外部一侧上下两端设置有连接杆(9)，且固定架(6)与连接杆(9)之间为活动连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块(1)、第一传感器(4)和固定架(6)，其特征在于：所述固定块(1)的内部连接有摩擦块架(2)，且摩擦块架(2)外部一侧设置有手指(3)，所述手指(3)的内部安置有夹持架(7)，且夹持架(7)的顶端外部四周固定有防护板(8)，所述手指(3)的一侧设置有固定架(6)，且固定架(6)的内部一侧设置有第二传感器(5)，所述固定架(6)靠近手指(3)的底端中部一侧安装有第一传感器(4)，所述固定架(6)的外部一侧上下两端设置有连接杆(9)，且固定架(6)与连接杆(9)之间为活动连接。


2.根据权利要求1所述的一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，其特征在于：所述固定块(1)与摩擦块架(2)之间为铆接连接，且固定块(1)通过摩擦块架(2)与手指(3)构成螺纹结构。


3.根据权利要求1所述的一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，其特征在于：所述手指(3)与夹持架(7)之间相互贴合，且夹持架(7)为半圆结构。


4.根据权利要求1所述的一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，其特征在于：所述手指(3)与固定架(6)之间为活动连接，且第二传感器(5)与固定架(6)之间为螺纹连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘劲松，郭俭，张金志，刘伟，杨帆，
申请(专利权)人：上海微松工业自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31