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本发明涉及一种基于机械手手指的新型晶圆固定和检测方式，包括固定块、第一传感器和固定架，所述固定块的内部连接有摩擦块架，且摩擦块架外部一侧设置有手指，所述手指的内部安置有夹持架，且夹持架的顶端外部四周固定有防护板，所述手指的一侧设置有固定架，...
该专利属于上海微松工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微松工业自动化有限公司授权不得商用。

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