一种溅射镀膜设备的进出片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及镀膜设备领域，具体公开了一种溅射镀膜设备的进出片装置，底架、进出腔体和控制机台；所述进出腔体安装在底架上，所述进出腔体的一侧面设置有进片口，另一侧面由拼装板拼接而成，所述拼接板上开设有观察口；所述进出口边缘设置有警报灯和操作；所述控制机台设置于进出腔体远离进片口的一侧。本实用新型专利技术的的进出片装置可以一侧进行装片操作，一侧进行加工操作，互补干扰，提高生产的安全性，也提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜设备的进出片装置
本技术涉及镀膜设备领域，特别是涉及一种溅射镀膜设备的进出片装置。
技术介绍
在镀膜领域，目前，在玻璃盖板或是压克力盖板的镀膜方式，多以电子枪热蒸镀方式或炉式的磁控溅射方式进行；但是目前使用的镀膜机的进出片装置结构复杂，且在装完片后需要持续对基板进行观察，但是基板例如玻璃在操作过程中若没有放好或设备故障，运输时容易导致破裂，或者边角溅射容易误伤操作人员，极度危险。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种溅射镀膜设备的进出片装置，结构简单，且安全性高。为了解决上述技术问题，本技术提供一种溅射镀膜设备的进出片装置，包括底架、进出腔体和控制机台；所述进出腔体安装在底架上，所述进出腔体的一侧面设置有进片口，另一侧面由拼装板拼接而成，所述拼接板上开设有观察口；所述进出口边缘设置有警报灯和操作板；所述控制机台设置于进出腔体远离进片口的一侧。作为优选方案，所述底架的底端设置有支撑脚和滑轮。作为优选方案，所述控制机台的底端设置有滑轮。作为优选方案，所述底架靠近进片口的一侧的设置有踏脚支架，所述踏脚支架上开设有多个通孔。作为优选方案，所述进出腔体的一侧设置有用于连接其他腔体的连接架。作为优选方案，所述拼接板的数量为4个。作为优选方案，所述观察口上设置有透明的钢化玻璃。本技术具有以下有益效果：(1)本技术的溅射镀膜设备的进出片装置设置有进片腔体和进片口，操作人员可在进片口进行加片操作，进片腔体对四周进行防护，即保证装置内的设备与外界不交叉污染，也对外界进行保护，避免设备故障损伤周围设备和操作人员。(2)本技术的溅射镀膜设备的进出片装置的进片腔体采用拼接板拼接，且拼接板上设置观察口方便操作人员在观察孔处观察，避免在进片口观察，保护操作人员的安全。(3)本技术的溅射镀膜设备的进出片装置体积小，且在拼接板一侧设置控制机台，可以一边观察进片腔体内的状况，又一边进行远程操作，提高生产的安全性。附图说明图1是本技术实施例提供的溅射镀膜设备的进出片装置的一个结构示意图；图2是本技术实施例提供的溅射镀膜设备的进出片装置的另一个结构示意图。附图标记：1、底架；2、进出腔体；3、控制机台；4、进片口；5、拼接板；6、观察口；7、连接架；8、滑轮；9、踏脚支架；10、警报灯；11、操作板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参见图1和图2，本技术优选实施例中一种溅射镀膜设备的进出片装置，包括底架1、进出腔体2和控制机台3；所述进出腔体2安装在底架1上，所述进出腔体2的一侧面设置有进片口4，另一侧面由拼装板拼接而成，所述拼接板5上开设有观察口6；所述进出口边缘设置有警报灯10和操作板11；所述控制机台3设置于进出腔体2远离进片口4的一侧。本技术优选实施例的溅射镀膜设备的进出片装置进出片装置设置有进片腔体和进片口4，操作人员可在进片口4进行加片操作，进片腔体对四周进行防护，即保证装置内的设备与外界不交叉污染，也对外界进行保护，避免设备故障损伤周围设备和操作人员；并且进片腔体采用拼接板5拼接，且拼接板5上设置观察口6方便操作人员在观察孔处观察，避免在进片口4观察，保护操作人员的安全；此外进出片装置体积小，且在拼接板5一侧设置控制机台3，可以一边观察进片腔体内的状况，又一边进行远程操作，提高生产的安全性。作为优选方案，所述底架1的底端设置有支撑脚和滑轮8。具体的，底架1设置滑轮8方便进片腔体移动或者运输。作为优选方案，所述控制机台3的底端设置有滑轮8。具体的，控制机台3设置滑轮8不仅方便运输和移动，同时方便切换控制机台3的位置。作为优选方案，所述底架1靠近进片口4的一侧的设置有踏脚支架9，所述踏脚支架9上开设有多个通孔。具体的，通孔可以减少踏脚支架9的重量。作为优选方案，所述进出腔体2的一侧设置有用于连接其他腔体的连接架7。具体的，连接架7方便与其他腔体连接，并且连接架7上可以设置可控门，方便对腔体之间的控制。作为优选方案，所述拼接板5的数量为4个。具体的，四块拼接板5成四等分分化，方便最大限度的观察进出腔体2内的状况。作为优选方案，所述观察口6上设置有透明的钢化玻璃。具体的，可以透过钢化玻璃进行进出腔体2内观察，同时钢化玻璃可以起到防护作用。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射镀膜设备的进出片装置，其特征在于：包括底架、进出腔体和控制机台；/n所述进出腔体安装在底架上，所述进出腔体的一侧面设置有进片口，另一侧面由拼接板拼接而成，所述拼接板上开设有观察口；/n所述进片口边缘设置有警报灯和操作板；/n所述控制机台设置于进出腔体远离进片口的一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜设备的进出片装置，其特征在于：包括底架、进出腔体和控制机台；
所述进出腔体安装在底架上，所述进出腔体的一侧面设置有进片口，另一侧面由拼接板拼接而成，所述拼接板上开设有观察口；
所述进片口边缘设置有警报灯和操作板；
所述控制机台设置于进出腔体远离进片口的一侧。


2.如权利要求1所述的溅射镀膜设备的进出片装置，其特征在于:所述底架的底端设置有支撑脚和滑轮。


3.如权利要求2所述的溅射镀膜设备的进出片装置，其特征在于:所述控制机台的底端设置有滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：高瑞三，林志荣，高大钧，詹奇峯，
申请(专利权)人：众鼎瑞展电子科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44