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本实用新型涉及镀膜设备领域，具体公开了一种溅射镀膜设备的进出片装置，底架、进出腔体和控制机台；所述进出腔体安装在底架上，所述进出腔体的一侧面设置有进片口，另一侧面由拼装板拼接而成，所述拼接板上开设有观察口；所述进出口边缘设置有警报灯和操作；...
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