一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体制造技术

本实用新型专利技术属于光学镀膜设备技术领域，尤其为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体，所述设备箱体的上端固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架，所述行星双旋转基板保持架的内部固定安装有光学监视器玻璃，所述设备箱体的内壁固定连接有隔板，所述设备箱体的底壁依次从左向右固定安装有离子枪、探测器、电子束蒸镀器和光源灯，所述设备箱体的内壁开设有滑道。本实用新型专利技术通过设置电动机和行星双旋转基板保持架，使得设备的蒸镀蒸汽在基材上散布更均匀，再通过设置探测器和石英速率监测仪，使得设备可以进行实时监控，避免产生产品的不合格，还有就是实现了设备的全自动化。

【技术实现步骤摘要】
一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体
本技术涉及光学镀膜设备
，具体为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体。
技术介绍
OLED，即有机发光二极管，又称为有机电激光显示，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。但是现有的光学镀膜腔体存在以下问题：1、现有的光学镀膜腔体，加热源往往为一个点加热或一个区域加热，无法做到蒸镀蒸汽在基材上散布均匀，而且整个设备的自动化程度较低，很难进行实时监控；2、现有的光学镀膜腔体，设备在运转的过程中，很容易产生大幅度抖动，进而带来噪音污染，使得作业环境变差。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，解决了上述
技术介绍
所提出的问题。(二)技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体(1)，其特征在于：所述设备箱体(1)的上端固定安装有电动机(2)，所述电动机(2)的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架(3)，所述行星双旋转基板保持架(3)的内部固定安装有光学监视器玻璃(4)，所述设备箱体(1)的内壁固定连接有隔板(5)，所述设备箱体(1)的底壁依次从左向右固定安装有离子枪(6)、探测器(7)、电子束蒸镀器(8)和光源灯(9)，所述设备箱体(1)的内壁开设有滑道(10)，所述滑道(10)的内壁滑动连接有基板加热器(11)，所述隔板(5)的上固定安装有石英速率监测仪(12)。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体(1)，其特征在于：所述设备箱体(1)的上端固定安装有电动机(2)，所述电动机(2)的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架(3)，所述行星双旋转基板保持架(3)的内部固定安装有光学监视器玻璃(4)，所述设备箱体(1)的内壁固定连接有隔板(5)，所述设备箱体(1)的底壁依次从左向右固定安装有离子枪(6)、探测器(7)、电子束蒸镀器(8)和光源灯(9)，所述设备箱体(1)的内壁开设有滑道(10)，所述滑道(10)的内壁滑动连接有基板加热器(11)，所述隔板(5)的上固定安装有石英速率监测仪(12)。


2.根据权利要求1所述的一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，其特征在于：所述设备箱体(1)的下端固定连接有第一支撑杆(13)，所述第一支撑杆(13)的两侧开设有条形槽(14)，所述条形槽(14)的内壁竖向固定连接有固定杆(15)，所述固定杆(15)的外表面套设有第一弹簧(16)，所述第一支撑杆(13)的下端设置有第二支撑杆(17)，所述第二支撑杆(17)的内部开设有安置槽(18)，所述安置槽(18)的内壁固定连接有衔接杆(19)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨玉飞，
申请(专利权)人：江阴慕达斯真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32