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本实用新型属于光学镀膜设备技术领域，尤其为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体，所述设备箱体的上端固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架，所述行星双旋转基板保持架的内部固定安装有光学监视器玻璃，所述设...
该专利属于江阴慕达斯真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴慕达斯真空设备有限公司授权不得商用。

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