一种大型蒸发镀膜机的腔体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种大型蒸发镀膜机的腔体，包括腔本体、腔体门，所述腔本体一侧开口，所述腔体门安装在腔本体的开口处，所述腔本体与腔体门的外壁上设置有具有冷却功能的冷却系统；所述腔本体的顶板上设置有一个第一法兰；所述腔本体的侧壁上设置有用于安装高真空获得装置和简易挡板阀的第二法兰；所述腔本体的侧壁上还设置有第三法兰；所述腔体门的侧壁上设置有三个观察视窗；所述冷却系统包括布满腔本体与腔体门的外壁的冷却水道。本实用新型专利技术通过在腔体的外侧壁上布置冷却水道，使用冷却水经过冷却水道与腔体壁接触实现换热，将腔体内因蒸镀产生的大量的热带出，可以有效降低腔体的温度。

【技术实现步骤摘要】
一种大型蒸发镀膜机的腔体
本技术涉及蒸发镀膜
，具体涉及一种大型蒸发镀膜机的腔体。
技术介绍
真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，最高可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物；被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率高。蒸发镀膜的腔体用于放置待镀膜的工件；在其腔体设置有一个及以上的真空泵。现有的电子束蒸发镀膜，处置大型工件时，腔体内会产生的大量的热，无法有效的降低及回收，而且使用的是真空泵，所以体积大效率不高。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的技术问题，提供一种大型蒸发镀膜机的腔体。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大型蒸发镀膜机的腔体，包括腔本体(10)、腔体门(11)，所述腔本体(10)一侧开口，所述腔体门(11)安装在腔本体(10)的开口处，其特征在于，所述腔本体(10)与腔体门(11)的外壁上设置有具有冷却功能的冷却系统；所述腔本体(10)的顶板上设置有一个第一法兰(51)；所述腔本体(10)的侧壁上设置有用于安装高真空获得装置(40)和简易挡板阀的第二法兰(52)；所述腔本体(10)的侧壁上还设置有第三法兰(53)；所述腔体门(11)的侧壁上设置有三个观察视窗(54)；所述冷却系统包括布满腔本体(10)与腔体门(11)的外壁的冷却水道(21)。/n

【技术特征摘要】
1.一种大型蒸发镀膜机的腔体，包括腔本体(10)、腔体门(11)，所述腔本体(10)一侧开口，所述腔体门(11)安装在腔本体(10)的开口处，其特征在于，所述腔本体(10)与腔体门(11)的外壁上设置有具有冷却功能的冷却系统；所述腔本体(10)的顶板上设置有一个第一法兰(51)；所述腔本体(10)的侧壁上设置有用于安装高真空获得装置(40)和简易挡板阀的第二法兰(52)；所述腔本体(10)的侧壁上还设置有第三法兰(53)；所述腔体门(11)的侧壁上设置有三个观察视窗(54)；所述冷却系统包括布满腔本体(10)与腔体门(11)的外壁的冷却水道(21)。


2.根据权利要求1所述的一种大型蒸发镀膜机的腔体，其特征在于，所述腔本体(10)的顶板上的第一法兰(51)用于安装基片架转动系统和膜厚监控系统。


3.根据权利要求2所述的一种大型蒸发镀膜机的腔体，其特征在于，所述第二法兰(52)根据腔体大小设置为一个，两个或三个。


4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭爱云，朱选敏，
申请(专利权)人：武汉科瑞达真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42