【技术实现步骤摘要】
一种环保型氧化锗合成装置
本技术涉及化工合成装置
,尤其涉及一种环保型氧化锗合成装置。
技术介绍
氧化锗是重要的半导体光电子材料,在光纤通讯及其它光电子器件领域都有极其广泛而深入的应用,因此人们开发出了很多用于制备氧化锗材料的方法,目前用于制备氧化锗材料的方法主要有化学气相沉积法,磁控溅射法,熔融法,离子注入法,火焰分解法,化学气相轴相沉积法以及溶胶—凝胶法;现有技术在合成氧化锗的过程中,需要将氨气和氢气通入管式炉反应合成单质锗,在这个过程中,一般会通入过量的气体,但是在反应后,这些气体存在很高的温度,传统的方式是直接排除回收,这就造成气体热能的浪费。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在浪费气体热能的缺点,而提出的一种环保型氧化锗合成装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:设计一种环保型氧化锗合成装置,包括管式炉体,所述管式炉体的底端侧壁上固定安装有控制面板,所述管式炉体内部的两端均卡接有真空管,两个所述真空管均与管式炉体内部相通,两个所述真空管的外端均固定安装有管口接头,两个所述管口接头的管口端分别接通有进气管和出气管,所述进气管的侧壁上固定安装有第一压力表,所述出气管的侧壁上固定安装有第二压力表,所述出气管的出口端固定安装有换热水箱,所述换热水箱的内部固定安装有换热盘管,所述换热盘管的进口端与出气管接通,所述换热盘管的出口端固定连接有气体回收管,所述气体回收管贯穿换热水箱的侧壁,且延伸到换热水箱的外侧。优选的,所述换热水箱的侧壁上固定安装有进 ...
【技术保护点】
1.一种环保型氧化锗合成装置,包括管式炉体(1),所述管式炉体(1)的底端侧壁上固定安装有控制面板(2),其特征在于,所述管式炉体(1)内部的两端均卡接有真空管(3),两个所述真空管(3)均与管式炉体(1)内部相通,两个所述真空管(3)的外端均固定安装有管口接头(4),两个所述管口接头(4)的管口端分别接通有进气管(7)和出气管(10),所述进气管(7)的侧壁上固定安装有第一压力表(5),所述出气管(10)的侧壁上固定安装有第二压力表(6),所述出气管(10)的出口端固定安装有换热水箱(11),所述换热水箱(11)的内部固定安装有换热盘管(13),所述换热盘管(13)的进口端与出气管(10)接通,所述换热盘管(13)的出口端固定连接有气体回收管(14),所述气体回收管(14)贯穿换热水箱(11)的侧壁,且延伸到换热水箱(11)的外侧。/n
【技术特征摘要】
1.一种环保型氧化锗合成装置,包括管式炉体(1),所述管式炉体(1)的底端侧壁上固定安装有控制面板(2),其特征在于,所述管式炉体(1)内部的两端均卡接有真空管(3),两个所述真空管(3)均与管式炉体(1)内部相通,两个所述真空管(3)的外端均固定安装有管口接头(4),两个所述管口接头(4)的管口端分别接通有进气管(7)和出气管(10),所述进气管(7)的侧壁上固定安装有第一压力表(5),所述出气管(10)的侧壁上固定安装有第二压力表(6),所述出气管(10)的出口端固定安装有换热水箱(11),所述换热水箱(11)的内部固定安装有换热盘管(13),所述换热盘管(13)的进口端与出气管(10)接通,所述换热盘管(13)的出口端固定连接有气体回收管(14),所述气体回收管(14)贯穿换热水箱(11)的侧壁,且延...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢鹏荐,曾小龙,张林,范永志,李科,
申请(专利权)人:武汉拓材科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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