弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体部(24)；IDT电极(3)，与第1端子(11)和第2端子(12)连接；和反射器(8)，与第2端子(12)连接。在IDT电极(3)中，在将IDT电极(3)中一组电极指之中在第2方向(D2)上位于一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指的情况下，第1端电极指在第2方向(D2)上位于反射器(8)与第2端电极指之间。第1汇流条(4)和第2汇流条(5)之中不与第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在第2方向(D2)上位于比第1端电极指的第1方向(D1)的中央部更靠内侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术一般涉及弹性波装置，更详细地涉及具备IDT电极的弹性波装置。
技术介绍
以往，作为弹性波装置，已知如下的弹性波装置，即，具备压电基板(压电体部)和设置在压电基板上的IDT电极，在IDT电极的电极指的一部分设置有宽幅部(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置的一例中，在压电基板上，在IDT电极的声表面波传播方向两侧形成有反射器。IDT电极以及反射器由金属材料形成。专利文献1记载的弹性波装置的特征在于，具备如下构造，即，通过在IDT电极中形成活塞模式，从而抑制横模纹波。在专利文献1记载的弹性波装置中，IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，基端与第1汇流条电连接，前端朝向第2汇流条延伸；和多根第2电极指，基端与第2汇流条连接，前端朝向第1汇流条延伸。在上述的弹性波装置中，在第1电极指以及第2电极指的双方设置有宽幅部。第1汇流条具有沿着第1汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第1汇流条具有：内侧汇流条部，位于比多个开口部更靠第1电极指侧，且在第1汇流条的长度方向上延伸；中央汇流条部，设置有多个开口部；和外侧汇流条部，位于夹着中央汇流条部而与内侧汇流条部相反侧。第2汇流条具有沿着第2汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第2汇流条具有：内侧汇流条部，位于比多个开口部更靠第2电极指侧，且在第2汇流条的长度方向上延伸；中央汇流条部，设置有多个开口部；和外侧汇流条部，位于夹着中央汇流条部而与内侧汇流条部相反侧。在先技术文献<br>专利文献专利文献1：国际公开第2014/192756号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在IDT电极的电极指的一部分设置了宽幅部的弹性波装置中，例如，在第1汇流条以及第2汇流条的长度方向上的IDT电极的端区域，外侧汇流条部与电位不同的反射器等金属材料部相邻，因此有时会由于静电放电(ESD：ElectrostaticDischarge)而被浪涌破坏。本专利技术的目的在于，提供一种能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高的弹性波装置。用于解决课题的技术方案本专利技术的一方式涉及的弹性波装置具备第1端子、第2端子、压电体部、IDT电极、和反射器。所述第2端子成为比所述第1端子的电位低的电位。所述IDT电极设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接。所述反射器设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接。所述IDT电极具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、和多个第2电极指。所述第1汇流条与所述第1端子电连接。所述第2汇流条在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接。所述多个第1电极指与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向第2汇流条侧延伸。所述多个第2电极指与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸。所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列。所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部。所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含开口部、内侧汇流条部、外侧汇流条部、和连结部。所述内侧汇流条部在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧。所述外侧汇流条部在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧。所述连结部在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结。在所述IDT电极中，将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指，在该情况下，所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述反射器与所述第2端电极指之间。所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述第1方向的中央部更靠内侧。本专利技术的一方式涉及的弹性波装置具备第1端子、第2端子、压电体部、多个IDT电极、和两个反射器。所述第2端子成为比所述第1端子的电位低的电位。所述多个IDT电极设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接。所述两个反射器设置在所述压电体部上，对由所述多个IDT电极激励的弹性波进行反射。所述多个IDT电极各自具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、和多个第2电极指。所述第2汇流条在第1方向上与所述第1汇流条对置。所述多个第1电极指与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向第2汇流条侧延伸。所述多个第2电极指与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸。所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列。所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部。所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含开口部、内侧汇流条部、外侧汇流条部、和连结部。所述内侧汇流条部在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧。所述外侧汇流条部在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧。所述连结部在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结。所述多个IDT电极在所述第2方向上排列。所述两个反射器位于在所述第2方向上排列的所述多个IDT电极之中两侧的IDT电极各自的、与相邻的IDT电极相反侧。在所述多个IDT电极之中与所述两个反射器中的一个反射器相邻的IDT电极中，将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中位于所述第2方向上的一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指，在该情况下，所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述一个反射器与所述第2端电极指之间。在与所述一个反射器相邻的IDT电极中，所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述第1方向的中央部更靠内侧。本专利技术的一方式涉及的弹性波装置具备第1端子、第2端子、压电体部、IDT电极、和反射器。所述第2端子成为比所述第1端子的电位低的电位。所述IDT电极设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接。所述反射器设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接。所述IDT电极具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、和多个第2电极指。所述第1汇流条与所述第1端子电连接。所述第2汇流条在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接。所述多个第1电极指与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向第2汇流条侧延伸。所述多个第2电极指与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸。所述多个第1电极指和所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：/n第1端子；/n第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；/n压电体部；/nIDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接；和/n反射器，设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接，/n所述IDT电极具有：/n第1汇流条，与所述第1端子电连接；/n第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接；/n多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和/n多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，/n所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列，/n所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，/n所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：/n开口部；/n内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧；/n外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；和/n连结部，在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结，/n在所述IDT电极中，将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指，在该情况下，所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述反射器与所述第2端电极指之间，/n所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述第1方向的中央部更靠内侧。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171219 JP 2017-2425261.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；
IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接；和
反射器，设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接，
所述IDT电极具有：
第1汇流条，与所述第1端子电连接；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列，
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧；
外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；和
连结部，在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结，
在所述IDT电极中，将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指，在该情况下，所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述反射器与所述第2端电极指之间，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述第1方向的中央部更靠内侧。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
具备两个所述反射器，
所述两个反射器在所述第2方向上在所述IDT电极的两相邻处各配置一个，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述宽幅部以及所述第2端电极指的所述宽幅部更靠内侧。


3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
具备两个所述反射器，
所述两个反射器在所述第2方向上在所述IDT电极的两相邻处各配置一个，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指以及所述第2端电极指更靠内侧，使得在所述第1方向上分别不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指重叠。


4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部的沿着所述第1方向的一个边、和所述第1端电极指的所述宽幅部的与所述第2端电极指侧相反侧的边排列在一直线上。


5.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；
多个IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接；和
两个反射器，设置在所述压电体部上，对由所述多个IDT电极激励的弹性波进行反射，
所述多个IDT电极各自具有：
第1汇流条；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上隔离地排列，
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧；
外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；和
连结部，在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结，
所述多个IDT电极在所述第2方向上排列，
所述两个反射器位于在所述第2方向上排列的所述多个IDT电极之中两侧的IDT电极各自的、与相邻的IDT电极相反侧，
在所述多个IDT电极之中与所述两个反射器中的一个反射器相邻的IDT电极中，将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中位于所述第2方向上的一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指，在该情况下，所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述一个反射器与所述第2端电极指之间，
在与所述一个反射器相邻的IDT电极中，所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指的所述第1方向的中央部更靠内侧。


6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，
在与所述一个反射器相邻的IDT电极中，所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比所述第1端电极指以及所述第2端电极指各自的所述宽幅部更靠内侧。


7.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，
在与所述一个反射器相邻的IDT电极中，所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于内侧，使得在所述第1方向上分别不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指重叠。


8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，
在与所述一个反射器相邻的IDT电极中，所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指以及所述第2端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部的所述一个反射器侧的边、和所述第1端电极指的所述宽幅部的所述一个反射器侧的边排列在一直线上。


9.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；
IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接；和
反射器，设置在所述压电体部上，并与所述第2端子电连接，
所述IDT电极具有：
第1汇流条，与所述第1端子电连接；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置，并与所述第2端子电连接；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列，
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧；
外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；和
连结部，在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结，
在所述IDT电极中，将包含所述多个第1电极指和所述多个第2电极指的一组电极指之中在所述第2方向上位于一端的电极指设为第1端电极指，将位于另一端的电极指设为第2端电极指，在该情况下，所述第1端电极指在所述第2方向上位于所述反射器与所述第2端电极指之间，
所述第1汇流条和所述第2汇流条之中不与所述第1端电极指连接的汇流条的外侧汇流条部在所述第2方向上位于比不与所述第1端电极指连接的汇流条的内侧汇流条部更靠内侧。


10.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；
多个IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接；和
两个反射器，设置在所述压电体部上，对由所述多个IDT电极激励的弹性波进行反射，
所述多个IDT电极各自具有：
第1汇流条；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；和
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接，并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔离地排列，
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指各自的至少一个电极指包含与所述至少一个电极指的所述第1方向的中央部相比所述第2方向的宽度大的宽幅部，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木孝尚，宫本幸治，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP