弹性波装置制造方法及图纸

在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。将多个IDT电极(3)之中在第2方向(D2)上相邻的两个IDT电极(3)的一者设为第1IDT电极，将另一者设为第2IDT电极，此时，在第1IDT电极中，一组电极指之中最靠近第2IDT电极的第1电极指(6)包含第2方向(D2)的宽度比最靠近第2IDT电极的第1电极指(6)的第1方向(D1)的中央部(60)大的宽幅部(62)。在第1IDT电极中，关于最靠近第2IDT电极的第1电极指(6)，第1距离(L1)比第2距离(L2)短，该第1距离(L1)是沿着第1方向(D1)的中央部(60)的中心线(6X)和宽幅部(62)的第2IDT电极侧的外缘(621)的第2方向(D2)的最大距离，该第2距离(L2)是中央部(60)的中心线(6X)和宽幅部(62)的与第2IDT电极相反侧的外缘(622)的第2方向(D2)的最大距离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术一般地涉及弹性波装置，更详细地涉及具备IDT电极的弹性波装置。
技术介绍
以往，作为弹性波装置，已知有如下的弹性波装置，其具备压电基板(压电体部)和设置在压电基板上的IDT电极，在IDT电极的电极指的一部分设置有宽幅部(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置的一个例子中，在压电基板上，在IDT电极的声表面波传播方向两侧形成有反射器。IDT电极以及反射器由金属材料形成。在专利文献1记载的弹性波装置的特征在于，具备如下构造，即，通过在IDT电极中形成活塞模式，从而抑制横模纹波。在专利文献1记载的弹性波装置中，IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，基端与第1汇流条电连接，前端朝向第2汇流条延伸；以及多根第2电极指，基端与第2汇流条连接，前端朝向第1汇流条延伸。在上述的弹性波装置中，在第1电极指以及第2电极指的双方设置有宽幅部。第1汇流条具有沿着第1汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第1汇流条具有：内侧汇流条部，位于比多个开口部更靠第1电极指侧，且在第1汇流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：/n第1端子；/n第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；/n压电体部；以及/n多个IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接，/n所述多个IDT电极各自具有：/n第1汇流条；/n第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置；/n多个第1电极指，与所述第1汇流条连接并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；以及/n多个第2电极指，与所述第2汇流条连接并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，/n所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔开地排列，/n所述第1汇流条以及所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171219 JP 2017-2425271.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；以及
多个IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接，
所述多个IDT电极各自具有：
第1汇流条；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；以及
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方向上相互隔开地排列，
所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含：
开口部；
内侧汇流条部，在所述第1方向上位于比所述开口部更靠包含所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指的一组电极指侧；
外侧汇流条部，在所述第1方向上位于从所述开口部观察与所述内侧汇流条部相反侧；以及
连结部，在所述第1方向上连结所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部，
将所述多个IDT电极之中在所述第2方向上相邻的两个IDT电极的一者设为第1IDT电极，将另一者设为第2IDT电极，此时，
所述第1IDT电极的所述一组电极指之中最靠近所述第2IDT电极的电极指和所述第2IDT电极的所述一组电极指之中最靠近所述第1IDT电极的电极指的一者与所述第1端子连接，另一者与所述第2端子连接，
在所述第1IDT电极中，所述第1IDT电极的所述一组电极指之中最靠近所述第2IDT电极的电极指包含所述第2方向的宽度比最靠近所述第2IDT电极的电极指的所述第1方向的中央部大的宽幅部，
在所述第1IDT电极中，关于最靠近所述第2IDT电极的电极指，
第1距离比第2距离短，该第1距离是沿着所述第1方向的所述中央部的中心线和所述宽幅部的所述第2IDT电极侧的外缘的所述第2方向上的最大距离，该第2距离是所述中央部的中心线和所述宽幅部的与所述第2IDT电极相反侧的外缘的所述第2方向上的最大距离。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
在所述第1IDT电极中，关于最靠近所述第2IDT电极的电极指，
所述第1距离与所述中央部的中心线和所述中央部的所述第2IDT电极侧的外缘的所述第2方向上的距离相同。


3.一种弹性波装置，具备：
第1端子；
第2端子，成为比所述第1端子的电位低的电位；
压电体部；以及
多个IDT电极，设置在所述压电体部上，并与所述第1端子以及所述第2端子电连接，
所述多个IDT电极各自具有：
第1汇流条；
第2汇流条，在第1方向上与所述第1汇流条对置；
多个第1电极指，与所述第1汇流条连接并在所述第1方向上从所述第1汇流条向所述第2汇流条侧延伸；以及
多个第2电极指，与所述第2汇流条连接并在所述第1方向上从所述第2汇流条向所述第1汇流条侧延伸，
所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向正交的第2方...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木孝尚，宫本幸治，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP