【技术实现步骤摘要】
一种声表面波器件及其制作方法
本专利技术涉及声表面波换能器件
，具体领域为一种声表面波器件及其制作方法。
技术介绍
采用声表面波(SAW＝surfaceacousticwave,表面声波)工作的射频滤波器器件，将射频信号转换成声波并且反过来将声波转换成射频信号，实现射频信号滤波功能，是现今通信设备的关键元器件。声波是借助物理媒质传输的机械振动，因物理媒质的性质不同，声波传输特性各异。因研究地下地震给人类造成重大破坏发现了声表面波，其特征是：声波能量仅在固体表面数个声波长层内传输，传输损耗低，由此开始了声表面波的工程应用。压电材料，是具有压电效应功能材料，外力使其原子结构变形，产生表面电荷。同样，其在施加电场时，会产生形变，称逆压电效应。此类效应，不需要外界其他能量支持。声表面波器件，就是基于压电材料的(逆)压电效应，利用压电材料表面的声表面波工作的电子器件，它采用压电材料表面制作的叉指换能器(一种金属电极周期结构，其形状如同双手交叉)在其表面产生和接收声表面波。在相关器件理论指导下，设计叉指换能器的电极...
【技术保护点】
1.一种声表面波器件，包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构，其特征在于：所述的压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有介质体，所述的介质体作为声表面波声波导的侧壁。/n
【技术特征摘要】
1.一种声表面波器件，包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构，其特征在于：所述的压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有介质体，所述的介质体作为声表面波声波导的侧壁。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波器件，其特征在于：所述的压电衬底表面上有效声表面波传输通道区域分布在叉指换能器产生或/和接收实现器件功能所必要的声表面波的区域上。
3.根据权利要求1所述的一种声表面波器件，其特征在于：所述的压电衬底表面上有效声表面波传输通道区域分布在偏离叉指换能器的压电衬底表面上。
4.根据权利要求2所述的一种声表面波器件，其特征在于：所述的压电衬底表面上有效声表面波传输通道区域为变迹加权表面波传输通道区域。
5.根据权利要求1所述的一种声表面波器件，其特征在于：所述的压电衬底为多层结构复合基片的表面压电层。
6.根据权利要求5所述的一种声表面波器件，其特征在于：所述压电衬...
【专利技术属性】
技术研发人员：李勇，温旭杰，何朝峰，王祥邦，肖功亚，黄亮，
申请(专利权)人：中电科技德清华莹电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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