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本发明涉及声表面波换能器件技术领域,尤其是一种声表面波器件及其制作方法,包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构,所述的压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有介质体,所述的介质体作为声表面波声波导的侧壁,本发明在压...该专利属于中电科技德清华莹电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中电科技德清华莹电子有限公司授权不得商用。
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本发明涉及声表面波换能器件技术领域,尤其是一种声表面波器件及其制作方法,包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极结构,所述的压电衬底表面上至少有一个有效声表面波传输通道区域边缘镶嵌有介质体,所述的介质体作为声表面波声波导的侧壁,本发明在压...