【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有缩小尺寸的微机械谐振器
本公开总体上涉及一种谐振器结构，并且，更具体地，涉及一种具有缩小尺寸的微机械谐振器。
技术介绍
微机械谐振器目前用在例如陀螺仪传感器和定时参考中。近来，微机械音叉谐振器也被用作以32,768Hz的频率振动的时钟参考。因此，小尺寸的微机械式谐振器现在与石英基解决方案竞争，由于石英晶体谐振器振动的频率取决于其物理尺寸，因此所述石英基解决方案在满足较小的尺寸方面面临着越来越多的挑战。换句话说，石英晶体谐振器的尺寸大小将会限制装置以特定的期望频率进行有效振动的能力。因此，在专利文献1(如下所述)中公开了一种适合于提供以32,768Hz振动的小尺寸频率参考的微机械式谐振器结构。图1示出了如专利文献1中所公开的常规微机械谐振器结构的俯视图。如图1中所示，谐振器10包括框架20，该框架20具有金属结合环24和多个通路接触件22A、22B和22C，该金属结合环24绕框架20延伸，所述多个通路接触件22A、22B和22C设置为用于谐振器10的外部电接触以在操作期间接收电力。此外，谐振器10具有四个梁...
【技术保护点】
1.一种MEMS谐振器，包括：/n振动部分，所述振动部分具有基部和从所述基部延伸的至少三个振动梁；/n框架，所述框架至少部分地围绕所述振动部分的周缘；/n至少一个锚固件，所述至少一个锚固件布置在所述至少三个振动梁中的一对振动梁之间，并且所述至少一个锚固件构造成将所述振动部分稳定在所述框架内；以及/n至少一个支承梁，所述至少一个支承梁将所述振动部分的所述基部联接至所述至少一个锚固件。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180207 US 15/890,4501.一种MEMS谐振器，包括：
振动部分，所述振动部分具有基部和从所述基部延伸的至少三个振动梁；
框架，所述框架至少部分地围绕所述振动部分的周缘；
至少一个锚固件，所述至少一个锚固件布置在所述至少三个振动梁中的一对振动梁之间，并且所述至少一个锚固件构造成将所述振动部分稳定在所述框架内；以及
至少一个支承梁，所述至少一个支承梁将所述振动部分的所述基部联接至所述至少一个锚固件。
2.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其中，所述至少三个振动梁包括四个振动梁并且所述至少一个锚固件包括一对锚固件。
3.根据权利要求2所述的MEMS谐振器，其中，所述一对锚固件中的第一锚固件布置在所述振动梁中的第一对振动梁之间，并且所述一对锚固件中的第二锚固件布置在所述振动梁中的第二对振动梁之间。
4.根据权利要求3所述的MEMS谐振器，其中，所述至少一个支承梁包括一对支承梁，所述一对支承梁相应地将所述一对锚固件联接至所述振动部分的所述基部。
5.根据权利要求4所述的MEMS谐振器，还包括：
多个质量块，所述多个质量块相应地布置在所述振动梁上，并且
其中，所述多个质量块相对于相应的振动梁的中心轴线在纵向方向上偏置，使得在所述第一对振动梁和所述第二对振动梁中的每一对振动梁之间限定有空间，其中，相应的所述第一锚固件和所述第二锚固件布置在限定的所述空间中。
6.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，还包括基底，所述基底具有腔，其中，所述框架联接至所述基底，使得所述振动部分布置在所述腔中。
7.根据权利要求6所述的MEMS谐振器，还包括至少一个支承柱，所述至少一个支承柱从所述基底延伸并且分别连接至所述至少一个锚固件，以将所述振动部分稳定在所述基底的所述腔内。
8.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，还包括至少一个电接触件，所述至少一个电接触件相应地布置在所述至少一个锚固件上。
9.根据权利要求8所述的MEMS谐振器，还包括谐振器盖，所述谐振器盖具有凹形腔并且所述谐振器盖布置在所述框架上，以将所述振动部分气密地密封在凹形腔内，其中，所述框架围绕所述振动部分。
10.根据权利要求9所述的MEMS谐振器，其中，所述谐振器盖包括至少一个电馈通件，所述至少一个电馈通件延伸穿过所述谐振器盖并且相应地连接至布置在所述至少一个锚固件上的所述至少一个电接触件。
11.根据权利要求10所述的MEMS谐振器，还包括：
基底，所述基底具有腔，其中，所述框架联接至所述基底，使得所述振动部分布置在所述腔中；以及
至少一个支承柱，所述至少一个支承柱从所述基底延伸并且相应地连接至所述至少一个锚固件，以使所述振动部分稳定在所述基底的所述腔内。
12.根据权利要求11所述的MEMS谐振器，其中，在所述MEMS谐振器的平面图中，所述至少一个支承柱与所述至少...
【专利技术属性】
技术研发人员：维莱·卡亚卡里，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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