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提供了一种微机械谐振器，该微机械谐振器能够实现较小的总体封装尺寸并具有用于定时应用的可接受的质量因数。该MEMS谐振器包括振动部分，该振动部分具有基部和从基部延伸的三个或更多个振动梁。此外，该MEMS谐振器包括框架和一对锚固件，该框架围绕振...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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