一种LPCVD中的摆动检测方盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种LPCVD中的摆动检测方盒，包括吊耳固定板、顶板、侧板、护罩以及前板，吊耳固定板设置在顶板的上侧，顶板设置在护罩的顶端表面，且顶板通过转轴一与罩体转动连接，护罩两侧对称安装侧板，护罩的前侧固定安装前板，护罩内中部位置安装摆动臂，摆动臂两侧的护罩内对称安装第二微动开关以及第三微动开关，前板下部安装抓手后板，抓手后板中部通过转轴二与护罩转动连接，抓手后板的一侧通过载荷弹簧与弹簧顶块固定连接，弹簧顶块安装在前板的后侧面下部，抓手后板的另一侧安装抓手底板，第一微动开关安装在护罩内后侧，本实用新型专利技术结构新颖，具有石英舟放置检测和偏移检测功能，实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种LPCVD中的摆动检测方盒
本技术涉及气相沉积
，特别涉及一种LPCVD中的摆动检测方盒。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。但是，现有技术中石英舟需要放置在载舟上再送入反应室，放置时没有检测功能，造成石英舟滑落或摆放不正的情况无法及时发现，影响石英插片的加工质量和加工效率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种LPCVD中的摆动检测方盒，为了解决上述技术中石英舟放置时没有检测，发生偏移时造成石英舟碰撞或损伤的情况，本技术的技术方案为：一种LPCVD中的摆动检测方盒，包括吊耳固定板、顶板、侧板、护罩以及前板，所述吊耳固定板设置在顶板的上侧，且所述吊耳固定板通过长吊耳和短吊耳与顶板固定连接，所述顶板设置在护罩的顶端表面，且所述顶板通过转轴一与护罩转动连接，所述护罩两侧对称安装侧板，所述护罩的前侧固定安装前板，所述护罩内中部位置安装摆动臂，所述摆动臂两侧的护罩内对称安装第二微动开关以及第三微动开关，所述前板下部安装抓手后板，所述抓手后板中部通过转轴二与护罩转动连接，所述抓手后板的一侧通过载荷弹簧与弹簧顶块固定连接，所述弹簧顶块安装在前板的后侧面下部，所述抓手后板的另一侧安装抓手底板，所述护罩内后侧安装有第一微动开关。优选的，所述吊耳固定板两侧均通过弹簧与顶板固定连接，两个所述弹簧规格相同。优选的，所述第二微动开关以及第三微动开关均通过微动开关固定座与前板固定连接，所述微动开关固定座通过螺钉固定连接在前板后侧面上。优选的，所述第一微动开关通过微动开关固定板与护罩内一侧表面固定连接，所述微动开关固定板通过螺钉与护罩内一侧表面固定连接。优选的，所述第一微动开关、第二微动开关以及第三微动开关均通过连接线与外部开关控制器电性连接，且第一微动开关、第二微动开关以及第三微动开关规格相同。优选的，所述抓手底板内一侧表面镶嵌石英挡块，所述抓手后板前侧镶嵌石英垫片，所述石英挡块与石英垫片呈90°夹角布置。采用上述技术方案，由于抓手后板、转轴二以及第一微动开关的添加，能够检测抓手后板上是否放置石英舟，能够避免同一位置重复放置石英舟造成石英舟撞击损坏，还能够避免机械手抓取石英舟时抓空，由于摆动臂、第二微动开关以及第三微动开关的添加，使得石英舟在摇摆检测过程中发生的偏移能够及时被发现，预防因为偏移造成的损失，本技术结构新颖，具有石英舟放置检测和偏移检测功能，实用性强。附图说明图1为本技术的正面立体结构示意图；图2为本技术的背面立体结构示意图；图3为本技术的右视剖面结构示意图；图4为本技术的主视剖面结构示意图。图中1-吊耳固定板，2-长吊耳，3-短吊耳，4-顶板，5-转轴一，6-侧板，7-护罩，8-前板，9-摆动臂，10-弹簧顶块，11-微动开关固定座，12-转轴二，13-抓手后板，14-微动开关固定板，15-抓手底板，16-石英挡块，17-石英垫片，18-载荷弹簧，19-第一微动开关，20-第二微动开关，21-第三微动开关。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。参照图1-4所示的一种LPCVD中的摆动检测方盒，包括吊耳固定板1、顶板4、侧板6、护罩7以及前板8，吊耳固定板1设置在顶板4的上侧，且吊耳固定板1通过长吊耳2和短吊耳3与顶板4固定连接，顶板4设置在护罩7的顶端表面，且顶板4通过转轴一5与护罩7转动连接，护罩7两侧对称安装侧板6，护罩7的前侧固定安装前板8，护罩7内中部位置安装摆动臂9，摆动臂9两侧的护罩7内对称安装第二微动开关20以及第三微动开关21，前板8下部安装抓手后板13，抓手后板13中部通过转轴二12与护罩7转动连接，抓手后板13的一侧通过载荷弹簧18与弹簧顶块10固定连接，弹簧顶块10安装在前板8的后侧面下部，抓手后板13的另一侧安装抓手底板15，护罩7内后侧安装有第一微动开关19。吊耳固定板1两侧均通过弹簧与顶板4固定连接，两个弹簧规格相同，便于对顶板4的摆动幅度进行限定，避免了顶板4摆动幅度过大的情况发生。第二微动开关20以及第三微动开关21均通过微动开关固定座11与前板8固定连接，微动开关固定座11通过螺钉固定连接在前板8后侧面上，便于第二微动开关20以及第三微动开关21的快速安装，提高第二微动开关20以及第三微动开关21安装的稳定性。第一微动开关19通过微动开关固定板14与护罩7内一侧表面固定连接，微动开关固定板14通过螺钉与护罩7内一侧表面固定连接，便于第一微动开关19的快速安装。第一微动开关19、第二微动开关20以及第三微动开关21均通过连接线与外部开关控制器电性连接，且第一微动开关19、第二微动开关20以及第三微动开关21规格相同，外部开关控制器能够同时控制第一微动开关19、第二微动开关20以及第三微动开关21的运行。抓手底板15内一侧表面镶嵌石英挡块16，抓手后板13前侧镶嵌石英垫片17，石英挡块16与石英垫片17呈90°夹角布置，便于对石英舟进行定位，提高石英舟放置时的稳定性。工作原理：待检测的石英舟放置在抓手底板15上时，通过石英挡块16以及石英垫片17将待检测石英舟进行定位，抓手底板15在重力作用下下降，带动抓手后板13围绕转轴二12转动，进而转轴二12后侧翘起，并压缩载荷弹簧18，当抓手后板13后侧触碰第一微动开关19时，第一微动开关19与外部开关控制器之间的电路被接通，则表示石英舟已经放置在抓手底板15上，便于外部开关控制器控制机械手等部件工作，若石英舟发生摆动，则石英舟通过抓手底板15带动吊耳固定板1进行摆动，吊耳固定板1围绕转轴一5摆动，进而带动整个装置左右摆动，在惯性作用下，当待反应的石英舟发生偏移时，摆动臂9在护罩7内左右摆动，并触碰第二微动开关20或者第三微动开关21，则表示待反应石英舟发生偏移，起到预防石英舟碰撞的作用。以上结合附图对本技术的实施方式作了详细说明，但本技术不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本技术原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LPCVD中的摆动检测方盒，包括吊耳固定板(1)、顶板(4)、侧板(6)、护罩(7)以及前板(8)，其特征在于：所述吊耳固定板(1)设置在顶板(4)的上侧，且所述吊耳固定板(1)通过长吊耳(2)和短吊耳(3)与顶板(4)固定连接，所述顶板(4)设置在护罩(7)的顶端表面，且所述顶板(4)通过转轴一(5)与护罩(7)转动连接，所述护罩(7)两侧对称安装侧板(6)，所述护罩(7)的前侧固定安装前板(8)，所述护罩(7)内中部位置安装摆动臂(9)，所述摆动臂(9)两侧的护罩(7)内对称安装第二微动开关(20)以及第三微动开关(21)，所述前板(8)下部安装抓手后板(13)，所述抓手后板(13)中部通过转轴二(12)与护罩(7)转动连接，所述抓手后板(13)的一侧通过载荷弹簧(18)与弹簧顶块(10)固定连接，所述弹簧顶块(10)安装在前板(8)的后侧面下部，所述抓手后板(13)的另一侧安装抓手底板(15)，所述护罩(7)内后侧安装有第一微动开关(19)。/n

【技术特征摘要】
1.一种LPCVD中的摆动检测方盒，包括吊耳固定板(1)、顶板(4)、侧板(6)、护罩(7)以及前板(8)，其特征在于：所述吊耳固定板(1)设置在顶板(4)的上侧，且所述吊耳固定板(1)通过长吊耳(2)和短吊耳(3)与顶板(4)固定连接，所述顶板(4)设置在护罩(7)的顶端表面，且所述顶板(4)通过转轴一(5)与护罩(7)转动连接，所述护罩(7)两侧对称安装侧板(6)，所述护罩(7)的前侧固定安装前板(8)，所述护罩(7)内中部位置安装摆动臂(9)，所述摆动臂(9)两侧的护罩(7)内对称安装第二微动开关(20)以及第三微动开关(21)，所述前板(8)下部安装抓手后板(13)，所述抓手后板(13)中部通过转轴二(12)与护罩(7)转动连接，所述抓手后板(13)的一侧通过载荷弹簧(18)与弹簧顶块(10)固定连接，所述弹簧顶块(10)安装在前板(8)的后侧面下部，所述抓手后板(13)的另一侧安装抓手底板(15)，所述护罩(7)内后侧安装有第一微动开关(19)。


2.根据权利要求1所述的一种LPCVD中的摆动检测方盒，其特征在于：所述吊耳固定板(1)两侧均通过弹簧与顶板(4)固定连接，两个所述弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丙科，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32