MEMS麦克风的修调装置及其修调方法制造方法及图纸

本申请公开了一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法，该修调方法包括：根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。该修调方法对不同MEMS麦克风配置了对应的增益值，从而使得所有MEMS麦克风的灵敏度均在预设范围内，使得所有被修调后的MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的效果。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风的修调装置及其修调方法
本专利技术涉及修调技术，更具体地，涉及一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法。
技术介绍
硅麦克风是基于微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)技术制造的麦克风，跟传统的驻极体电容麦克风(ElectretCapacitanceMicrophone，ECM)的聚合材料振动膜相比，MEMS麦克风在不同温度下的性能都十分稳定，其敏感性不会受温度、振动、湿度和时间的影响。但是，MEMS麦克风需要专用集成电路芯片(ApplicationSpecificIntegratedCircuit，ASIC)提供的外部偏置电压，而ECM不需要。有效的偏置电压将使MEMS麦克风在整个操作温度范围内都可保持稳定的声学和电气参数，还支持具有不同敏感性的麦克风设计。随着时代的进步和技术的发展，应用端对MEMS麦克风的灵敏度要求精度越来越高，例如，以往大部分产品只要求标准灵敏度正负3dB即可满足要求。现在，例如智能手机和智能音箱等，却需要保证标准灵敏度为正负1dB甚至正负0.5dB这样的高要求。像ASIC晶圆这类纯电路芯片是很容易做到电性能高度一致性的，但是MEMS晶圆无法做到ASIC晶圆那样的一致性，MEMS单体间会存在一定差异，这样将MEMS和ASIC组装起来就会存在一定波动误差，如果需要是每颗MEMS麦克风的灵敏度高度一致，那么我们就需要为每颗MEMS传感器烧录修调一颗定制的ASIC芯片以达到标准灵敏度，烧录的两个重要参数分别是VBIAS(MEMS偏置电压)和GAIN(ASIC输出增益)。因此，希望进一步改进修调方法与修调装置，从而使得每颗MEMS麦克风的灵敏度高度一致。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种改进的修调方法与修调装置，以解决现有技术中无法使MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的技术问题。根据本专利技术的一方面，提供了一种修调方法，包括：根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。优选地，还包括：将第二数据烧录至所述MEMS麦克风，所述MEMS麦克风的偏置电压被所述第二数据配置；根据所述MEMS麦克风提供的第二输出信号获得修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度；以及根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选，其中，所述MEMS麦克风根据所述偏置电压和所述增益值提供所述第二输出信号。优选地，所述预设范围包括多个预设区间，根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选的步骤包括：根据所述修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间对所述MEMS麦克风进行分选。优选地，还包括获得所述MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：根据所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。优选地，还包括：获得所述MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表；以及获得所述MEMS麦克风的初始增益值，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：计算所述初始灵敏度与所述初始增益值之差，以便于获得初始增益归零后的所述初始灵敏度；根据初始增益归零后的所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。根据本专利技术的另一方面，提供了一种修调装置，包括：测试模块，用于根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；控制模块，用于根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据，并将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。优选地，还包括分选模块，用于根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选，其中，所述控制模块还用于将第二数据烧录至所述MEMS麦克风，所述MEMS麦克风的偏置电压被所述第二数据配置，所述MEMS麦克风根据所述偏置电压和所述增益值提供第二输出信号；所述测试模块还用于根据所述MEMS麦克风提供的所述第二输出信号获得修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度。优选地，所述预设范围包括多个预设区间，所述控制模块还用于根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间产生相应分选信号并发送至所述分选模块。优选地，所述控制模块包括：存储单元，用于存储多个所述第一数据以及所述MEMS麦克风的增益值与多个所述第一数据的对照表；计算单元，用于根据所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度，并计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值；以及判断单元，用于根据每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，以便于选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。优选地，所述控制模块包括：存储单元，用于存储所述MEMS麦克风的初始增益值，还用于存储多个所述第一数据以及所述MEMS麦克风的增益值与多个所述第一数据的对照表；计算单元，用于计算所述初始灵敏度与所述初始增益值之差，以便于获得初始增益归零后的所述初始灵敏度，还用于根据初始增益归零后的所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度，并计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值；以及判断单元，用于根据每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，以便于选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。根据本专利技术实施例的MEMS麦克风的修调方法与修调装置，通过检测出MEMS麦克风的初始灵敏度，并根据初始灵敏度为MEMS麦克风配置相应的增益值，从而使得MEMS麦克风的灵敏度处于预设范围内。与现有技术相比，本申请针对不同MEMS麦克风配置了对应的增益值，从而使得所有MEMS麦克风的灵敏度均在预设范围内，使得所有被修调后的MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的效果。进一步的，通过检测出修调后的MEMS麦克风的灵敏度，对修调后的MEMS麦克风进行分选，从而可以在预设范围之内，使得MEMS麦克风根据灵敏度得到更加细致的区分。进一步的，通过预先设置第一数据与增益值的对照表，使得在获得MEMS麦克风的初始灵敏度后直接根据对照表选择要配置的增益值，并将第一数据烧录至MEMS麦克本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风的修调方法，其特征在于，包括：/n根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；/n根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及/n将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，/n其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风的修调方法，其特征在于，包括：
根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；
根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及
将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，
其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。


2.根据权利要求1所述的修调方法，其特征在于，还包括：
将第二数据烧录至所述MEMS麦克风，所述MEMS麦克风的偏置电压被所述第二数据配置；
根据所述MEMS麦克风提供的第二输出信号获得修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度；以及
根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选，
其中，所述MEMS麦克风根据所述偏置电压和所述增益值提供所述第二输出信号。


3.根据权利要求2所述的修调方法，其特征在于，所述预设范围包括多个预设区间，根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选的步骤包括：根据所述修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间对所述MEMS麦克风进行分选。


4.根据权利要求1至3任一所述的修调方法，其特征在于，还包括获得所述MEMS麦克风的增益值与所述第一数据的对照表，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：
根据所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及
计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，
其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。


5.根据权利要求1至3任一所述的修调方法，其特征在于，还包括：
获得所述MEMS麦克风的增益值与所述第一数据的对照表；以及获得所述MEMS麦克风的初始增益值，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：
计算所述初始灵敏度与所述初始增益值之差，以便于获得初始增益归零后的所述初始灵敏度；
根据初始增益归零后的所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及
计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，
其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。


6.一种MEMS麦克风的修调装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宏志，
申请(专利权)人：无锡韦尔半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32