【技术实现步骤摘要】
麦克风测试装置
[0001]本技术涉及一种测试装置,尤其是麦克风测试装置。
技术介绍
[0002]现在测试MEMS产品主要有压力场测试方法和自由场测试两种测试方法。由于产品的特殊性,一般是产品研发、性能验证等的情况下,使用自由场测试方法,在产品规模化生产测试时,一般采用的是压力场测试方法。
[0003]现有的麦克风测试的系统主要由人工嘴和测试系统组成,采用压力场测试方法,测试系统使用扫频采点测试。此系统不足之处在于:
[0004]1、只能使用扁平扬声器,不能很好的满足MEMS麦克风测试时对声场的需求,导致产品测试过程中存在测试结果不稳定的情况。
[0005]2、从侧面发声,标准Ref.及待测体收到的声波经过反射等因素会加大扬声器发出的声音,失真度加大,影响待测体的灵敏度和失真度两个参数的准确性。
[0006]如图5和图6所示,现有的系统采用人工嘴测出的失真度和亥姆赫兹谐振点示意图,可以看出:
[0007]1、此人工嘴的失真度已经是0.17%;在产品测试时,将无法得知产品的准确失真度;< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.麦克风测试装置,其特征在于,包括:测试筒,所述测试筒的顶部设有测试腔,底部设有音响腔,所述测试腔与所述音响腔相通,所述测试筒的侧面设有标准孔和检测孔,所述标准孔和检测孔均与所述测试腔相通,所述检测孔内装有待测麦克风;标准麦克风,所述标准麦克风安装在所述标准孔内;喇叭,所述喇叭安装在所述音响腔内...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭海峰,
申请(专利权)人:无锡韦尔半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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