一种柔性光电探测器件的制备方法及柔性光电探测器件技术

本发明专利技术提供的柔性光电探测器件的制备方法，通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工，实现对其上表面的近场光学相干增强效应；然后在此上表面沉积钙钛矿薄膜，再在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件，本发明专利技术提供的柔性光电探测器件的制备方法，在未经飞秒激光加工的光滑表面上沉积制备钙钛矿薄膜，使光散射界面与钙钛矿薄膜材料界面分离，这样既能使得基底材料实现近场光学增强、提高光活性层的光吸收和量子效率，又能保证光活性层的致密性和完整性，减少材料缺陷对器件性能的不利影响，工艺简单。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性光电探测器件的制备方法及柔性光电探测器件
本专利技术涉及光学器件
，特别涉及一种柔性光电探测器件的制备方法及包括所述柔性光电探测器件的制备方法的柔性光电探测器件。
技术介绍
光电探测器能够将光信号转变为电信号，其在光通讯、环境监测、化学/生物传感等领域具有广泛的应用基础。同时近年来，由于柔性光电器件(比如便携式、可穿戴的电子设备等)具有重量轻，耐弯折，易加工储存，便于运输等显著优势，因此柔性光电器件的开发在许多新兴领域具有巨大的潜在应用。一般来讲，光探测器可以根据工作的波长的范围分成两类：特定波长探测器(紫外探测器、可见或红外探测器)和宽谱探测器。相比之下，宽带光谱探测器具有更宽的光谱响应范围(可包含从紫外到红外波长)，可以满足利用一个单独的探测器在紫外-可见光通信、宽光谱开关或存储器方面的需求。同时在光通讯的过程中，为了提高传输速度和传输能力，宽光谱探测也是必须的。在宽带光探测器中，具有吸收宽波长范围的能力和优良光电转换效率的宽带响应光活性层材料是其重要组成部分。随着研究人员对新型材料的不断探索，具有优异性能的有机卤化铅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性光电探测器件的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：/n通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工；/n在所述柔性透明基底的上表面沉积钙钛矿薄膜；/n在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性光电探测器件的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：
通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工；
在所述柔性透明基底的上表面沉积钙钛矿薄膜；
在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件。


2.如权利要求1所述的柔性光电探测器件的制备方法，其特征在于，在通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工的步骤中，所述飞秒激光为掺钛蓝宝石激光器产生的线偏振啁啾放大脉冲作为加工光源。


3.如权利要求2所述的柔性光电探测器件的制备方法，其特征在于，所述飞秒激光的重复频率为1kHz,脉冲宽度为40fs。


4.如权利要求2所述的柔性光电探测器件的制备方...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛巍，王野，邹婷婷，杨建军，郭春雷，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22