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本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法,通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工,实现对其上表面的近场光学相干增强效应;然后在此上表面沉积钙钛矿薄膜,再在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件,本发明提供的柔性光电探...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法,通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工,实现对其上表面的近场光学相干增强效应;然后在此上表面沉积钙钛矿薄膜,再在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件,本发明提供的柔性光电探...