下载一种柔性光电探测器件的制备方法及柔性光电探测器件的技术资料

文档序号:25190230

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本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法,通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工,实现对其上表面的近场光学相干增强效应;然后在此上表面沉积钙钛矿薄膜,再在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件,本发明提供的柔性光电探...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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