测量装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测量装置的控制方法，缩短同时测量多个测量对象时所需的测量时间。设定表示测量头（２０、２２）的移动目的地的测量点，基于设定的测量点的坐标，驱动Ｙ轴驱动部（２６），使测量头（２０、２２）整体移动到测量点附近，之后，对由搭载在测量头（２０、２２）上的摄像机的摄像得到的图像进行处理，并根据其处理结果，使测量头（２０、２２）分别非同步地沿Ｘ轴用架（１２）移动，并且，沿Ｙ１Ｓ轴或Ｙ２Ｓ轴进行微调，把各测量头（２０、２２）定位在测量点上，利用ＰＣ３０对由搭载在测量头（２０、２２）上的摄像机拍摄得到的图像进行处理，对测量台（１８）上的平面板（４２）的图形的微小尺寸进行测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，该测量装置将被测量物作为被摄体进行摄像，并处理经该摄像得到的图像，来测量被测量物的微小寸法。
技术介绍
作为测量被测量物的微小寸的装置，可例举如下的二维测量仪(专利文献1)，其包括在平行地延伸设置的导轨上可自由滑动地配置的X轴架；使该X轴架沿导轨在Y轴方向上移动的Y轴驱动部；沿X轴架的长度方向可自由滑动地配置的检测部；使该检测部沿X轴架在X轴方向上移动的X轴驱动部；以及从检测部的下方照射被测量物的光源部；使检测部在二维方向上移动，从而测量被测量物上的图形的线宽等。专利文献1日本特开平7-12512号公报(第2页至第4页，图1)。在过去的二维测量仪中，由于用1台检测部测量被测量物，因此，即使在被测量物上设定了多个测量部位，也不能对多个测量部位同时进行测量，不能充分缩短测量时间。为缩短测量时间，可考虑采用准备多台检测部、并且使各检测部同时移动到各测量部位的结构。但是，准备多台检测部、且使各检测部同时移动到各测量部位时，例如，独立驱动各检测部的驱动系统的结构而言，仅会使驱动系统的结构变复杂，根据驱动系统的结构，各检测部有可能相互干扰、使各检测部不能同时移动到各测量部位。此外，需要充分考虑到从多个测量部位(测量点)中提取适合处理的测量部位，并将提取的测量部位作为各检测部的移动目的地而依次分配的事项。
技术实现思路
本专利技术借是鉴于上述过去技术的课题而提出的，其目的是提供一种，缩短同时测量多个测量对象时所需的测量时间；此外，另一目的是是提供一种，在同时测量多个测量对象时，从表示多个测量头的移动目的地的测量点中抽取适合移动的测量点，按顺序分配给各个测量头。为达成上述目的，在本专利技术的第一方案的中，上述测量装置具有多个测量头，将被测量物上的图形作为拍摄对象；驱动部，将与上述被测量物相邻的空间作为上述多个测量头的移动区域，使上述多个测量头在上述移动区域内移动；控制部，对上述驱动部的驱动进行控制；以及图像处理部，对由上述多个测量头拍摄而得到的图像进行处理，算出与上述图形相关的微小尺寸；在控制上述的测量装置时，将表示上述多个测量头的移动目的地的测量点，分别与上述空间的坐标对应起来进行设定，并基于上述设定的测量点的坐标，使上述多个测量头整体在上述空间中沿一维方向移动，之后，使上述多个测量头在上述空间中沿一维或二维方向分别非同步地移动，来进行定位，并利用上述被定位的多个测量头分别拍摄上述图形，分别对由上述多个测量头拍摄得到的图形的图像进行处理，由此测量上述图形的微小尺寸。(作用)把多个测量头移动到分别指定的测量点时，基于测量点的坐标，使多个测量头整体沿一维方向移动，之后，使多个测量头沿一维或二维方向分别非同步地移动，来进行定位，所以可缩短各测量头移动到指定测量点所需的时间，可缩短在多个测量头对各种图形(测量对象)测量微小寸法所需的测量时间(作业时间Takt Time)。即，使多个测量头整体移动到测量点附近，然后使多个测量头分别非同步地移动，定位于测量点的位置上，从而可使多个测量头分别迅速且准确地定位到测量点上，可以缩短测量时间。本专利技术的第二方案的是，在上述的本专利技术的第一方案的中，在基于上述设定的测量点的坐标、使上述多个测量头整体在上述空间中沿一维方向移动时，由上述多个测量头拍摄上述被测量物，并且处理所拍摄的图像，根据该处理结果，使上述多个测量头在上述空间中沿一维或二维方向分别非同步地移动，将上述多个测量头定位在与上述设定的测量点对应的位置。(作用)在把多个测量头整体移动到测量点附近时，利用各测量头对被测量物进行拍摄并处理其图像，根据该处理结果，使多个测量头沿一维或二维方向分别非同步地移动，由此可将多个测量头分别准确地定位在测量点的位置上。即，多个测量头分别移动到测量点附近时，处理由多个测量头拍摄的图像，并反馈其处理结果，以便确定各测量头的位置，可将多个测量头准确定位在分别指定的测量点上。为达到上述其他目的，本专利技术涉及的第三方案的测量点分配程序，使计算机执行如下步骤坐标转换步骤，将对在多个测量头的移动区域中配置的被测量物的多个测量点的位置信息，转换成机械坐标；第1测量点设定步骤，基于由上述坐标转换步骤进行了坐标转换的各测量点的坐标，从上述多个测量点中，提取与上述机械坐标原点的距离沿直线变化的测量点，并将提取的测量点对应于测量顺序，设定为与上述多个测量头中的一方的测量头相关的测量点；第2测量点设定步骤，基于由上述坐标转换步骤进行了坐标转换的各测量点的坐标，从上述多个测量点中，依次提取在距离由上述第1测量点设定步骤依次设定的各测量点一定距离以上的位置存在的测量点，并将提取的测量点对应于测量顺序，设定为与上述另一方测量头相关的测量点。(作用)将对被测量物的多个测量点的位置信息转换为机械坐标，基于进行了坐标转换的各测量点的坐标，从多个测量点中依次提取与机械坐标原点的距离沿直线变化的测量点，把提取的测量点对应于测量顺序设定为与多个测量头中的一方的测量头相关的测量点，然后，从多个测量点中依次提取在距离设定的各测量点一定距离以上的位置所存在的测量点，把提取的测量点对应于测量顺序设定为与另一方测量头相关的测量点，因此，在同时测量多个测量对象时，可以从表示多个测量头的移动目的地的多个测量点中，提取移动距离最短的测量点，依次分配给各测量头，可缩短测量时间。本专利技术涉及的第四方案的测量点分配程序是，在第三方案的测量点分配程序中，上述第1测量点设定步骤，基于由上述坐标转换步骤进行了坐标转换的各测量点的坐标，从上述多个测量点中，依次提取离上述机械坐标的原点近的测量点、或者离前一次提取的测量点近的测量点；上述第2测量点设定步骤，基于由上述第1测量点设定步骤依次设定的各测量点的坐标，从上述多个测量点中，依次提取在上述另一方的测量头的最大驱动范围内存在、且在比允许上述各测量头之间接近的最小距离大的位置所存在的测量点。(作用)在设定与一方的测量头相关的测量点时，基于进行了坐标转换的各测量点的坐标，从多个测量点中依次提取离机械坐标原点近的测量点、或离上次提取的测量点近的测量点，并设定与另一方的测量头相关的测量点，此时，作为对一方的测量头设定的测量点的基准，从上述多个测量点中依次提取存在于另一方测量头的最大驱动范围内、且在比允许上述各测量头之间的接近的最小距离大的位置存在的测量点，所以，各测量头之间不会相互干扰，可把各测量头迅速移动到指定的测量点。专利技术效果从以上说明可知，本专利技术的第一方案的，可缩短同时测量多个图形所需的测量时间。根据本专利技术的第二方案，可把各测量头准确定位在分别指定的测量点上。根据本专利技术的第三方案的测量点分配程序，从多个测量点中提取移动距离最短的测量点，并依次分配到各测量头，所以可缩短测量时间。根据本专利技术的第四方案，各测量头之间不会相互干扰，可把各测量头迅速移动到指定的测量点上。附图说明图1是表示本专利技术涉及的测量装置的一实施例的立体图。图2是表示本专利技术涉及的测量装置的一实施例的立体图，是表示省略了测量头时的状态的立体图。图3是表示本专利技术涉及的测量装置的一实施例的结构框图。图4是平面板的平面图。图5是测量图形的放大平面图。图6是全封闭循环控制系统的结构图。图7是用于说明本专利技术涉及的测量装置的作用的流程图。图8是测量图形的中心偏离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量装置的控制方法，其特征在于，上述测量装置具有：多个测量头，将被测量物上的图形作为拍摄对象；驱动部，将与上述被测量物相邻的空间作为上述多个测量头的移动区域，使上述多个测量头在上述移动区域内移动；控制部，对上述驱动部的驱动进行控 制；以及图像处理部，对由上述多个测量头拍摄而得到的图像进行处理，算出与上述图形相关的微小尺寸；在控制上述的测量装置时，将表示上述多个测量头的移动目的地的测量点，分别与上述空间的坐标对应起来进行设定，并基于上述设定的测量点的坐标，使上 述多个测量头整体在上述空间中沿一维方向移动，之后，使上述多个测量头在上述空间中沿一维或二维方向分别非同步地移动，来进行定位，并利用上述被定位的多个测量头分别拍摄上述图形，分别对由上述多个测量头拍摄得到的图形的图像进行处理，由此测量上述图形的微小尺寸。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：出口和宏，
申请(专利权)人：株式会社扫佳，
类型：发明
国别省市：JP[日本]