回转运动角位移精度检测仪制造技术

一种回转运动角位移精度检测仪，包括有检测转台（１）和被测转台（２），检测转台（１）安装在被测转台（２）上，其特征在于该精度检测仪还包括有位移传感器（３）、基准规（４）和一个由滑板（５）、滑座（６）、滑板（７）及滑座（８）组成的两轴精密平台（９）；传感器（３）安装于检测转台（１）上，基准规（４）安装在滑板（５）上，滑板（５）安装在滑座（６）上，并可沿滑座（６）在Ｙ方向移动；滑座（６）与滑板（７）连接，滑板（７）安装在滑座（８）上，并可沿滑座（８）在Ｘ方向移动。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种角位移精度检测仪，特别是一种回转运动的角位移精度检测仪，可应用于回转运动的定位精度、重复定位精度的角位移检测。
技术介绍
回转运动的角位移精度一般用回转运动的定位精度及重复定位精度来评价，被测转台的回转定位精度和重复定位精度的传统检测方法是采用自准直仪和多面体进行测量，这种方法不能全面进行回转运动精度的评定。近几年英国RENISHAW公司推出用激光干涉仪和RX10转台附件结合起来进行回转运动精度检测的方法，该方法可全面进行回转运动评估；但尚存在的问题是对于转台附件与被测转台安装不同心的情况下不适用。美国API公司推出的旋转轴角摆仪是利用电子水平仪，但它存在的问题是1、无法直接用于被测转台为水平转台的情况，而且必须严格同心安装。2、由于水平仪液体的粘性，跟随不能太快，无法跟踪控制，检测效率较低。本技术针对上述已有技术的不足设计了一种回转运动角位移精度检测仪；该检测仪既可用于检测转台与被测转台同轴安装的情况，又可用于两者不能同轴安装的情况。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案回转运动角位移精度检测仪包括有检测转台、被测转台，检测转台安装在被测转台上；还包括有位移传感器、基准规和一个由滑板、滑座、滑板及滑座组成的两轴精密平台；传感器安装于检测转台上，基准规安装在滑板上，滑板安装在滑座上，并可沿滑座在Y方向移动；滑座与滑板连接，滑板安装在滑座上，并可沿滑座在X方向移动。检测转台与被测转台可以同轴安装，也可以不同轴安装；检测转台由伺服电机驱动，并装有高精度圆光栅尺；两轴精密平台由伺服电机驱动，并装有高精度直线光栅尺；传感器最少须安装两个，也可同时安装多个，传感器可以采用接触式，也可以采用非接触式。附图说明图1为本技术被检测工作转台为立式工作台主视图；图2为本技术被检测工作转台为立式工作台的俯视图；图3为本技术被检测工作转台为卧式工作台的主视图；图4为本技术被检测工作转台为卧式工作台的俯视图。具体实施方式以下参照附图对本技术作进一步的详细说明。参照图1和图2的立式工作台主视图及俯视图，精密检测转台1安装在被测转台2上，由滑板5、滑座6、滑板7及滑座8组成了两轴精密平台9；高精度位移传感器3安装于精密检测转台1上，基准规4安装在滑板5上，滑板5安装在滑座6上，并可沿滑座6在Y轴方向移动；滑座6与滑板7连接，滑板7安装在滑座8上，并可沿滑座8在X轴方向移动。参照图3和图4的卧式工作台主视图及俯视图，被检测工作转台为卧式放置，其轴线为水平轴线，结构形式与立式工作台相同。本技术的精密检测转台由伺服电机驱动，为了保证检测精度，并在检测转台1上装有高精度圆光栅尺；两轴精密检测平台的各轴均由伺服电机驱动，并在检测转台1上装有精密直线光栅尺。本技术有两种检测过程1、检测转台1与被测转台2同心安装，检测转台1与被检测工作转台2同步反向转动，由两个传感器3相对基准规4的位移变化即可测出被检工作转台的角位移偏差。利用上述方法可进行被检工作转台的定位精度和重复定位精度的检测。2、对于位置不同但检测转台与被测转台不同心安装时，检测转台中心相对被检转台中心有一偏心距时，检测过程中检测转台中心产生了X、Y方向的偏移。检测时，一方面使检测转台与被测转台作同步但反向回转即n2＝-n1；另一方面驱动两轴精密检测平台与检测转台X、Y方向的偏移作同步同向运动。从而保证了安装在检测转台上的位移传感器与基准规的相对位置关系不变，用方法1即可进行被检转台的回转定位精度和重复定位精度的测量。实施例1由图1和图2所示，被检测工作转台2为立式工作台，即工作台的轴线垂直；检测转台1与被检工作台2同心安装时，检测过程中检测转台1与被检工作转台2同步反向转动，这时两轴精密检测平台9仅作调整用，在检测过程中不动；检测转台1与被检工作台2不同心时，则检测过程中检测转台1一方面与被检工作转台2同步反向转动，一方面两轴检测平台9同时作同步同向移动。实施例2由图3和图4所示，被检测工作转台2为卧式工作台，即轴线为水平轴线，检测过程中检测转台1与被检工作转台2同步反向转动，这时两轴精密检测平台或仅作调整用，在检测过程中不动；或与被测工作台作同步同向的X、Y方向的移动。本技术的特点是适用范围广，该检测仪既可用于检测转台与被测转台同轴安装的定位及重复定位精度检测，又可用于两者不能同轴安装的精度检测，检测精度和检测效率高。权利要求1.一种回转运动角位移精度检测仪，包括有检测转台(1)和被测转台(2)，检测转台(1)安装在被测转台(2)上，其特征在于该精度检测仪还包括有位移传感器(3)、基准规(4)和一个由滑板(5)、滑座(6)、滑板(7)及滑座(8)组成的两轴精密平台(9)；传感器(3)安装于检测转台(1)上，基准规(4)安装在滑板(5)上，滑板(5)安装在滑座(6)上，并可沿滑座(6)在Y方向移动；滑座(6)与滑板(7)连接，滑板(7)安装在滑座(8)上，并可沿滑座(8)在X方向移动。2.如权利要求1所述的回转运动角位移精度检测仪，其特征在于检测转台(1)与被测转台(2)可以同轴安装；也可以不同轴安装。3.如权利要求1所述的回转运动角位移精度检测仪，其特征在于检测转台(1)由伺服电机驱动，并在检测转台(1)上装有高精度圆光栅尺。4.如权利要求1所述的回转运动角位移精度检测仪，其特征在于精密平台(9)两轴均由伺服电机驱动，并检测转台(1)上装有高精度直线光栅尺。5.如权利要求1所述的回转运动角位移精度检测仪，其特征在于传感器(3)最少须安装两个，也可同时安装多个，传感器(3)可以采用接触式，也可以采用非接触式。专利摘要本技术公开了一种新型回转运动角位移精度检测仪，用于回转运动的定位精度和重复定位精度检测。该检测仪的精密检测转台1安装在被测转台2上，由滑板5、滑座6、滑板7及滑座8组成了两轴精密平台9；高精度位移传感器3安装于精密检测转台2上，基准规4安装在滑板5上，滑板5安装在滑座6上，并可沿滑座6在Y轴方向移动；滑座6与滑板7连接，滑板7安装在滑座8上，并可沿滑座8在X轴方向移动。该检测仪适用范围广，既可适用于检测转台与被测转台同轴安装的定位及重复定位精度检测；又可用于两者不能同轴安装的情况，检测精度高，检测效率高。文档编号G01B5/24GK2670902SQ200320109938公开日2005年1月12日 申请日期2003年12月15日 优先权日2003年12月15日专利技术者黄玉美, 彭中波, 高峰, 史文浩, 程祥 申请人:西安理工大学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄玉美，彭中波，高峰，史文浩，程祥，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：实用新型
国别省市：