一种键合丝退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的玻璃管以及设置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管为套管，中间为夹层，夹层端部设有保护气体入口，碳化硅管为环状，不接触地包覆在所述玻璃管之外，形成隔离腔，碳化硅管内设有环状的降温风道，降温风道端部设有冷空气入口，外侧包覆有三组感应线圈，分别设置在碳化硅管的端部、中间和尾部，感应线圈均分别连接ZVS电源，感应线圈下的碳化硅管内设有热电偶。本实用新型专利技术玻璃管和碳化硅管不接触，二者之间的隔离腔可使温度均匀分散，利于稳定退火，且便于更换石英玻璃管；在碳化硅管内设置降温风道，需要降低使用温度时，向其通入空气即可降温，无需长时间等待，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种键合丝退火炉
本技术涉及键合丝的生产，尤其涉及一种键合丝退火炉。
技术介绍
键合丝的拉制属于超微拉丝范畴，从毫米级棒材拉至微米级微丝变形量巨大，端面收缩为原始棒材的十几万分之一。如果不进行中间退火，拉丝到达一定程度后几乎无法往下进行，所以半成品退火是必须的，拉至成品后，为了满足使用要求，必须进行成品退火以获得合适的机械性能。键合丝退火炉是拉制键合丝的必要设备，目前键合丝行业使用的常规在线退火炉存在以下问题：1)加热源是陶瓷加热片，热效率低，能耗高；2)分区加热且刚玉支撑管不导热，造成整个炉内有效加热长度内的温度分布不均匀，影响在线退火效果；3)测温热电偶远离石英玻璃管，测温与实际管内温度差别大；4)石英玻璃管贴靠于刚玉管下侧，圆周加热不均匀；5)刚玉管温度极速升降容易炸裂；6)散热困难，降温时间长，造成等待浪费。
技术实现思路
本技术针对现有键合丝退火炉加热不均匀，使用不稳定的缺点，提供一种键合丝退火炉。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的石英玻璃管以及设置在石英玻璃管之外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的石英玻璃管以及设置在石英玻璃管之外的碳化硅管，其特征在于，所述石英玻璃管为套管，中间为夹层，夹层端部设有保护气体入口，所述碳化硅管为环状，不接触地包覆在所述石英玻璃管之外，形成隔离腔，所述碳化硅管内设有环状的降温风道，所述降温风道端部设有冷空气入口，所述碳化硅管外侧包覆有感应线圈，所述感应线圈为三组，分别设置在所述碳化硅管的端部、中间和尾部，每组所述感应线圈均分别连接ZVS电源，每组所述感应线圈下的所述碳化硅管内均设有热电偶。/n

【技术特征摘要】
1.一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的石英玻璃管以及设置在石英玻璃管之外的碳化硅管，其特征在于，所述石英玻璃管为套管，中间为夹层，夹层端部设有保护气体入口，所述碳化硅管为环状，不接触地包覆在所述石英玻璃管之外，形成隔离腔，所述碳化硅管内设有环状的降温风道，所述降温风道端部设有冷空气入口，所述碳化硅管外侧包覆有感应线圈，所述感应线圈为三组，分别设置在所述碳化硅管的端部、中间和尾部，每组所述感应线圈均分别连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：王岩，高琪，林良，曲少娜，刘炳磊，
申请(专利权)人：烟台一诺电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37