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本实用新型公开了一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的玻璃管以及设置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管为套管，中间为夹层，夹层端部设有保护气体入口，碳化硅管为环状，不接触地包覆在所述玻璃管之外，形成隔离腔，碳化硅管内设有环状的降温风道，降温...
该专利属于烟台一诺电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台一诺电子材料有限公司授权不得商用。

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