【技术实现步骤摘要】
自动椭圆偏振测厚仪
本技术涉及教学实验中光学测量镀膜厚度的仪器，特别涉及一种自动椭圆偏振测厚仪。
技术介绍
椭圆偏振测厚仪利用光的偏振特性，即：一束椭圆偏振的光在镀膜的上下表面两次反射后，它的偏振状态会转过一定的角度，此转过角度的具体值与镀膜和衬底的折射率，以及镀膜厚度相关，由此特性可在已知衬底折射率的情况下得出所测量镀膜的厚度及折射率，消光法椭偏是对应不同样品制造出一束特定的椭圆偏振光使光束在样品上反射后形成线偏振光，检测此椭圆偏振光的长轴角度以及形成的线偏振光的偏振方向，根据这两个角度及已知的衬底的折射率即可得出测量镀膜的厚度及折射率。目前，仪器中的光源设置多采用绿激光器，测量精度受其局限，难以提高测量精度；激光器设置于仪器整体的上部，易被碰损而导致光路被破坏，由于结构设计欠佳，因此会给教学实验带来不便。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足之处，为社会提供一种结构布局合理、自动快速寻找消光点、测量精度高的自动椭圆偏振测厚仪。为实现上述目的本技术所采用的技术方案是：一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；其特征在于光路托板的下方设置激光器固定架，其上设有激光器。所述激光器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。所述样品台为前表面固定式样品台。-->本技术的有益效果是：采用带布儒斯特窗的氦氖激光器作为光源，光源的亮度、波长及偏振状态稳定，光源波长比一般椭圆偏振测厚仪使用的绿...
【技术保护点】
一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；其特征在于光路托板的下方设置激光器固定架，其上设有激光器。
【技术特征摘要】
1、一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；...
【专利技术属性】
技术研发人员：李创业，高士猛，滕会来，杜振贡，李永刚，
申请(专利权)人：天津市港翼科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：12[中国|天津]
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