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本实用新型涉及一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转...
该专利属于天津市港翼科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市港翼科技发展有限公司授权不得商用。

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