一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺制造技术

本发明专利技术涉及氟化工产业技术领域，具体来说，是一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺。包括如下步骤：将碳氢化合物或含氢氟烃类化合物与氟气分别经稀释气体稀释后通入反应器中进行反应，控制反应温度为50～550℃，反应压力为0.1～10Mpa；所述反应器为微管束列管式反应器或微通道反应器中的一种；反应完成后，用木炭除去产物中未完全反应的氟气，冷凝收集产物中的氟化氢，剩余产物粗品依次经过碱洗、水洗、冷冻、吸附和精馏后得到高纯电子级氟化碳；经冷凝收集后的氟化氢液体经过反应精馏后得到高纯电子级氟化氢。该生产工艺安全环保，无副产物产生，综合成本低，具有较好的经济效益和应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺
本专利技术涉及氟化工产业
，具体来说，是一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺。
技术介绍
目前国内外电子级氟化氢的生产主要是以提纯工业级HF来实现的，而工业级氟化氢的生产主要有以下两种方法：(1)以萤石(CaF2)为原料的方法，通过CaF2与浓H2SO4反应，以回转窑、气固流化床、气液固流化床等工艺手段生产氟化氢；(2)以氟硅酸为原料的方法，该方法又可分为以下4个工艺：①利用氟硅酸和石灰合成人造CaF2，然后按照传统萤石法生产氢氟酸的工艺得到HF；②将氟硅酸先转化为氟氢化钠、再热分解氟氢化钠得到HF；③氟硅酸与氨进行氨化反应，生成的氟化铵经过过滤、蒸发浓缩完全转化为氟化氢铵，制片得到氟化氢铵固体，与H2SO4经混合后进行高温反应得到HF气体；④用浓H2SO4分解氟硅酸，将释放出的四氟化硅吸收，直至氟硅酸的质量分数在15％～45％之间，然后用质量分数98％的H2SO4在125℃下使氟硅酸脱水，最后在95℃～205℃下解吸出HF。工业级HF中含有空气、水、三氟化砷、三氟本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)将碳氢化合物或含氢氟烃类化合物与氟气分别经稀释气体稀释后通入反应器中进行反应，控制反应温度为50～550℃，反应压力为0.1～10Mpa；所述反应器为微管束列管式反应器或微通道反应器中的一种；/n(2)反应完成后，用木炭除去产物中未完全反应的氟气，冷凝收集产物中的氟化氢，剩余产物粗品依次经过碱洗、水洗、冷冻、吸附和精馏后得到高纯电子级氟化碳；/n(3)经冷凝收集后的氟化氢液体经过反应精馏后得到高纯电子级氟化氢。/n

【技术特征摘要】
1.一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将碳氢化合物或含氢氟烃类化合物与氟气分别经稀释气体稀释后通入反应器中进行反应，控制反应温度为50～550℃，反应压力为0.1～10Mpa；所述反应器为微管束列管式反应器或微通道反应器中的一种；
(2)反应完成后，用木炭除去产物中未完全反应的氟气，冷凝收集产物中的氟化氢，剩余产物粗品依次经过碱洗、水洗、冷冻、吸附和精馏后得到高纯电子级氟化碳；
(3)经冷凝收集后的氟化氢液体经过反应精馏后得到高纯电子级氟化氢。


2.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中碳氢化合物或氢氟烃类化合物与稀释气体的体积比为1:1-20。


3.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中氟气体积浓度为5～100％。


4.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中碳氢化合物或氢氟烃类化合物的起始体积浓度为5～100％。


5.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，氟气与碳...

【专利技术属性】
技术研发人员：方治文，申桂贤，方有升，崔波，
申请(专利权)人：山东重山光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37