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本发明涉及氟化工产业技术领域，具体来说，是一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺。包括如下步骤：将碳氢化合物或含氢氟烃类化合物与氟气分别经稀释气体稀释后通入反应器中进行反应，控制反应温度为50～550℃，反应压力为0.1～10Mpa；所...该专利属于山东重山光电材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东重山光电材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及氟化工产业技术领域，具体来说，是一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺。包括如下步骤：将碳氢化合物或含氢氟烃类化合物与氟气分别经稀释气体稀释后通入反应器中进行反应，控制反应温度为50～550℃，反应压力为0.1～10Mpa；所...