脉冲激光沉积三维加热台制造技术

本实用新型专利技术涉及脉冲激光沉积技术领域，公开了一种脉冲激光沉积三维加热台。所述脉冲激光沉积三维加热台，包括加热平台、波纹管、维修旋钮、水平位移机构、垂直位移机构、旋转机构、样品托和控制电机。本技术方案通过水平位移机构、垂直位移机构和旋转机构带动加热平台进行水平位移、垂直位移和旋转，以实现加热台的三维立体加热功能，同时通过控制样品托上下移动以装入、取出以及固定样品进行加热，提升了加热台的使用便捷性和工作效率。通过波纹管和维修旋钮的组合结构，可方便快捷地将加热平台拉出腔体以进行维修或更换。

【技术实现步骤摘要】
脉冲激光沉积三维加热台
本技术涉及脉冲激光沉积
，尤其涉及一种脉冲激光沉积三维加热台。
技术介绍
脉冲激光沉积(PulsedLaserDeposition，PLD)技术中需要加热平台对基片样品进行加热。但现有加热平台通常都是固定配置的，并不能灵活调整加热平台的三维位置和角度以适配不同位置和角度的基片样品的加热需求，导致现有加热平台不能满足高通量脉冲激光沉积技术的需要。
技术实现思路
鉴于此，本技术提供一种脉冲激光沉积三维加热台，解决现有加热平台无法实现高通量脉冲激光设备加热需求的技术问题。根据本技术的实施例，提供一种脉冲激光沉积三维加热台，包括加热平台、波纹管、维修旋钮、水平位移机构、垂直位移机构、旋转机构、样品托和控制电机，所述波纹管设置在所述加热平台正上方，所述维修旋钮通过第一丝杆与所述波纹管下的法兰活动连接，用于旋转以向上压缩所述波纹管，所述加热平台正上方通过第一支撑杆设置有水平位移台，所述水平位移机构设置在所述水平位移台上，所述水平位移机构正上方通过第二支撑杆和第二丝杆活动连接有旋转位移台，所述旋转机构设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脉冲激光沉积三维加热台，其特征在于，包括加热平台、波纹管、维修旋钮、水平位移机构、垂直位移机构、旋转机构、样品托和控制电机，所述波纹管设置在所述加热平台正上方，所述维修旋钮通过第一丝杆与所述波纹管下的法兰活动连接，用于旋转以向上压缩所述波纹管，所述加热平台正上方通过第一支撑杆设置有水平位移台，所述水平位移机构设置在所述水平位移台上，所述水平位移机构正上方通过第二支撑杆和第二丝杆活动连接有旋转位移台，所述旋转机构设置在所述旋转位移台上，所述水平位移台正上方通过第二支撑杆设置有垂直位移台，所述垂直位移机构设置在所述垂直位移台上，所述样品托设置在所述加热平台底部且通过所述控制电机控制上下移动...

【技术特征摘要】
1.一种脉冲激光沉积三维加热台，其特征在于，包括加热平台、波纹管、维修旋钮、水平位移机构、垂直位移机构、旋转机构、样品托和控制电机，所述波纹管设置在所述加热平台正上方，所述维修旋钮通过第一丝杆与所述波纹管下的法兰活动连接，用于旋转以向上压缩所述波纹管，所述加热平台正上方通过第一支撑杆设置有水平位移台，所述水平位移机构设置在所述水平位移台上，所述水平位移机构正上方通过第二支撑杆和第二丝杆活动连接有旋转位移台，所述旋转机构设置在所述旋转位移台上，所述水平位移台正上方通过第二支撑杆设置有垂直位移台，所述垂直位移机构设置在所述垂直位移台上，所述样品托设置在所述加热平台底部且通过所述控制电机控制上下移动。


2.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积三维加热台，其特征在于，所述加热平台和波纹管中间设置有维修法兰。


3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓军，朱新华，胡凯，代瑞娜，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44