三维测定装置、滤色光栅条纹片及照明机构制造方法及图纸

一种采用相位移动法测定测定对象的三维形状时，可缩短测定时间的三维测定装置。印刷状态检查装置（１）包括台，该台用于放置印刷有焊糊（Ｈ）的印刷电路衬底（Ｋ）；照明器（３），该照明器（３）构成用于对印刷电路衬底（Ｋ）的表面，照射相位不同的正弦波状的３个光成分图案的照射机构；ＣＣＤ照相机（４），该ＣＣＤ照相机（４）构成用于对印刷电路衬底（Ｋ）上已照射的部分进行拍摄的拍摄机构；白色光照明器（Ｌ），该白色光照明器（Ｌ）用于对印刷电路衬底（Ｋ）的表面，照射白色光；激光指示器，该激光指示器用于测定基准高度。控制器（７）根据通过白色光照明器（Ｌ）的照射而获得的图像数据，指定焊糊（Ｈ）所在的区域，根据通过照明器（３）的照射而获得的数据，采用相位移动法，对焊糊（Ｈ）的高度进行运算。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种采用相位移动法，测定测定对象的三维形状等的三维测定装置。
技术介绍
一般，在于印刷电路衬底上，安装电子器件的场合，首先，在设置于印刷电路衬底上的规定的电极图案上，印刷焊糊。接着，根据该焊糊的粘性，将电子器件临时地固定于印刷电路衬底上。然后，将上述印刷电路衬底送向回流炉，经过规定的回流步骤，进行焊剂设置。到目前，必须在送向回流炉的前阶段，检查焊糊的印刷状态，在上述检查时，采用三维测定装置。近年，人们提出了各种采用光的，所谓的非接触式的三维测定装置，其中，人们提出有采用相位移动法的三维测定装置的技术(日本第211443/1999号公报，日本第2711042号专利等)。在上述技术的三维测定装置中，采用CCD照相机。通过由光源和正弦波图案的滤色片的组合体构成的照射机构，对测定物体(在本场合，为印刷电路衬底)照射具有条纹状的光强度分布的光图案。另外，采用设置于正上方的CCD照相机，观测基板上的点。在此场合，画面上的点P的光的强度I由下述的公式表示。I＝e+f·cosφ(其中，e表示直流光噪音(偏置成分)，f表示正弦波的对比度(反射率)，φ表示通过物体的凹凸提供的相位)此时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维测定装置，其特征在于该三维测定装置包括：　　　　均匀光照明器，其可对测定对象和其周围的非测定对象，基本均匀地照射光；　　　　照射机构，该照射机构可至少相对测定对象，同时照射具有条纹状的光强度分布，并且具有相互不同的波长成分，相对相位关系相互不同的至少２个光成分图案；　　　　拍摄机构，该拍摄机构可对来自照射了上述均匀光的测定对象和其周围的非测定对象的反射光进行拍摄，并且可针对每个光成分，将来自至少照射了上述光成分图案的测定对象的反射光分离，对其进行拍摄；　　　　区域抽取机构，该区域抽取机构根据借助上述拍摄机构拍摄的均匀光的图像数据，抽取上述测定对象所在的区域；　　　　运算机构，该运算机构...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：间宫高弘，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]