【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅转移装置
本技术涉及单晶硅领域,特别涉及一种单晶硅转移装置。
技术介绍
使用直拉法生产的单晶硅要通过后续的一系列机械加工以达到客户所需的质量标准,例如对于生产硅盘用单晶硅棒要经过开断、滚外周以及线切割等初步的加工,通常转移工作使用车间的吊车,滚外周设备夹持硅棒运转时滚外周设备不可以对硅棒轴向施加很大的力以免损坏硅棒,所以通常使用专门的胶水将硅棒粘合在粘板上再固定在滚外周设备上,等待胶水粘合的时间为4小时左右,后续还需进行脱胶、清洗等工作。硅棒的转运和夹持的过程在一定程度上影响了产品的生产效率,在一定程度上也增加了工作的危险性,所以对于目前的行业需求,生产中迫切需要一种在保证成品质量的可以转移夹持单晶硅棒的装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅转移装置,能够夹持和移动单晶硅棒。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,包括:支撑架;夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;其中,所述夹持装置包括;框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;上托架,其位置可调节地设置在所述上框体上,用于从上方固定所述单晶硅棒;下托架,其位置可调节地设置在所述下框体上,用于从下方承托单晶硅棒。优选的是,所述上托架包括:第一左右旋丝杆,其横向可旋转地架设在所述上框体上,在所述第一左右旋丝杆 ...
【技术保护点】
1.一种单晶硅转移装置,其特征在于,包括:/n支撑架;/n夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;/n位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;/n其中,所述夹持装置包括;/n框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;/n上托架,其位置可调节地设置在所述上框体上,用于从上方固定所述单晶硅棒;/n下托架,其位置可调节地设置在所述下框体上,用于从下方承托单晶硅棒。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅转移装置,其特征在于,包括:
支撑架;
夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;
位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;
其中,所述夹持装置包括;
框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;
上托架,其位置可调节地设置在所述上框体上,用于从上方固定所述单晶硅棒;
下托架,其位置可调节地设置在所述下框体上,用于从下方承托单晶硅棒。
2.根据权利要求1所述的单晶硅转移装置,其特征在于,所述上托架包括:
第一左右旋丝杆,其横向可旋转地架设在所述上框体上,在所述第一左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹;
第一丝母和第二丝母,分别套设在所述第一左右旋丝杆的两端,并与所述第一左右旋丝杆相匹配;
第一移动座和第二移动座,其分别与所述第一丝母和第二丝母固定连接;
第一弧形梁和第二弧形梁,其中部分别与所述第一移动座和第二移动座的下端连接,在所述第一弧形梁和第二弧形梁的两侧分别设有上导轮组;
第一驱动电机,其设置在上框体上,第一驱动电机的输出轴与所述第一左右旋丝杆连接,用于带动所述第一左右旋丝杆旋转。
3.根据权利要求1或2所述的单晶硅转移装置,其特征在于,所述下托架包括:
第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆,其分别可旋转地设置在所述下框体上,在所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹;
第三丝母和第四丝母,分别套设在所述第二左右旋丝杆的两端,并与所述第二左右旋丝杆相匹配;
第五丝母和第六丝母,分别套设在所述第三左右旋丝杆的两端,并与所述第三左右旋丝杆相匹配;
第三移动座和第四移动座,其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接;
第五移动座和第六移动座,其分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接;
第一支撑杆,其架设在所述第三移动座和第五移动座之间;
第二支撑杆,其架设在所述第四移动座和第六移动座之间;
一对支撑辊,其分别设置在所述第一支撑杆和第二支撑杆上,用于从下方承托单晶硅棒;
第二驱动电机,其设置在所述下框体上,第二驱动电机的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆传动连接,用于带动所述第二左右...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘连胜,林博洋,
申请(专利权)人:锦州神工半导体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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