一种单晶硅转移装置制造方法及图纸

技术编号:25101617 阅读:16 留言:0更新日期:2020-07-31 23:53
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅转移装置。包括:支撑架;载棒台,其设置在所述支撑架的一侧,用于承托单晶硅棒;滚外周装置,其设置在所述载棒台的对侧,用于对单晶硅棒进行滚外周检测;以及夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;其中,所述夹持装置包括;框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;上托架;下托架。本实用新型专利技术的有益效果是:能够夹持和移动单晶硅棒。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅转移装置
本技术涉及单晶硅领域,特别涉及一种单晶硅转移装置。
技术介绍
使用直拉法生产的单晶硅要通过后续的一系列机械加工以达到客户所需的质量标准,例如对于生产硅盘用单晶硅棒要经过开断、滚外周以及线切割等初步的加工,通常转移工作使用车间的吊车,滚外周设备夹持硅棒运转时滚外周设备不可以对硅棒轴向施加很大的力以免损坏硅棒,所以通常使用专门的胶水将硅棒粘合在粘板上再固定在滚外周设备上,等待胶水粘合的时间为4小时左右,后续还需进行脱胶、清洗等工作。硅棒的转运和夹持的过程在一定程度上影响了产品的生产效率,在一定程度上也增加了工作的危险性,所以对于目前的行业需求,生产中迫切需要一种在保证成品质量的可以转移夹持单晶硅棒的装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅转移装置,能够夹持和移动单晶硅棒。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,包括:支撑架;夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;其中,所述夹持装置包括;框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;上托架,其位置可调节地设置在所述上框体上,用于从上方固定所述单晶硅棒;下托架,其位置可调节地设置在所述下框体上,用于从下方承托单晶硅棒。优选的是,所述上托架包括:第一左右旋丝杆,其横向可旋转地架设在所述上框体上,在所述第一左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹;第一丝母和第二丝母,分别套设在所述第一左右旋丝杆的两端,并与所述第一左右旋丝杆相匹配;第一移动座和第二移动座,其分别与所述第一丝母和第二丝母固定连接;第一弧形梁和第二弧形梁,其中部分别与所述第一移动座和第二移动座的下端连接,在所述第一弧形梁和第二弧形梁的两侧分别设有上导轮组;第一驱动电机,其设置在上框体上,第一驱动电机的输出轴与所述第一左右旋丝杆连接,用于带动所述第一左右旋丝杆旋转。优选的是,所述下托架包括:第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆,其分别可旋转地设置在所述下框体上,在所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹;第三丝母和第四丝母,分别套设在所述第二左右旋丝杆的两端,并与所述第二左右旋丝杆相匹配;第五丝母和第六丝母,分别套设在所述第三左右旋丝杆的两端,并与所述第三左右旋丝杆相匹配;第三移动座和第四移动座,其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接;第五移动座和第六移动座,其分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接;第一支撑杆,其架设在所述第三移动座和第五移动座之间;第二支撑杆,其架设在所述第四移动座和第六移动座之间;一对支撑辊,其分别设置在所述第一支撑杆和第二支撑杆上,用于从下方承托单晶硅棒;第二驱动电机,其设置在所述下框体上,第二驱动电机的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆传动连接,用于带动所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆旋转。优选的是,还包括:液压缸,其设置在所述支撑辊与第一支撑杆和第二支撑杆之间,用于支撑所述支撑辊;压力传感器,其设置在所述支撑辊与液压缸之间,用于检测支撑辊承受的压力。优选的是,所述第一支撑杆和第二支撑杆可旋转地上架设在所述第三移动座和第五移动座、第四移动座和第六移动座之间,在所述第一支撑杆和第二支撑杆的末端分别设有第三驱动电机和第四驱动电机,用于调整支撑辊的支撑角度。优选的是,所述位置调节机构包括:第一导轨和第二导轨,其并列设置在所述支撑架的上部;第一导轨块和第二导轨块,其中心孔分别与所述第一导轨和第二导轨相匹配;连接板,其固设在所述第一导轨块和第二导轨块的上端面上,在所述连接板上设有限位孔,液压缸,其设置在所述连接板的中心,液压缸的活塞杆与所述框架连接,用于带动所述框架升降;限位导柱,其设置在所述框架的上部,并穿过所述限位孔。优选的是,还包括:第三导轨和第四导轨,其并列设置在所述支撑架的下方;第三导轨块和第四导轨块,其中心孔分别与所述第三导轨和第四导轨相匹配,三导轨块和第四导轨块的上端面与所述支撑架下端连接。优选的是,还包括:载棒台,其设置在所述支撑架的一侧,用于承托单晶硅棒;滚外周装置,其设置在所述载棒台的对侧,用于对单晶硅棒进行滚外周检测。优选的是,所述载棒台包括:台体,其设置在所述支撑架的一侧,在所述台体上部设有向下凹陷的弧形台,用于承托单晶硅棒。优选的是,所述滚外周装置包括:底座,其设置在所述台体的对侧;固定部,其设置在所述底座的一端;活动部,其位置可调节地设置在所述底座上;一对夹持块,其分别可旋转地设置在所述固定部和活动部上,用于夹持单晶硅棒。技术的有益效果是:能够夹持和移动单晶硅棒。附图说明图1是技术一种单晶硅转移装置的立体图I;图2是技术一种单晶硅转移装置的立体图II;图3是本技术中支撑架的立体图;图4是本技术中载棒台的立体图;图5是本技术中滚外周装置的立体图;图6是本技术中夹持装置的立体图I;图7是本技术中夹持装置的立体图II。具体实施方式下面结合附图对技术做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或其它元件或其组合的存在或添加。如图1-7所示,本技术的一种实现形式,为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,包括:支撑架110由金属材料制成的长方形框111和支撑柱112制成;作为一种优选,所述支撑架110不锈钢制成。作为进一步优选,还包括:第三导轨113和第四导轨114分别并列设置在所述支撑架的下方;第三导轨块和第四导轨块的中心孔分别与所述第三导轨113和第四导轨114相匹配,第三导轨块和第四导轨块的上端面与所述支撑柱112的下端连接。载棒台120设置在所述支撑架110的一侧,用于承托单晶硅棒2;作为一种优选,所述载棒台120包括:台体121设置在所述支撑架110的一侧,在所述台体121上部设有向下凹陷的弧形台122,用于承托单晶硅棒。滚外周装置130设置在所述载棒台120的对侧,用于对单晶硅棒2进行滚外周检测;作为一种优选,所述滚外周装置130包括:底座131设置在所述台体121的对侧;固定部132设置在所述底座131的一端;活动部133位置可调节地设置在所述底座上;一对夹持块134分别可旋转地设置在所述固定部132和活动部133上,用于夹持单晶硅棒。作为进一步优选,在所述底座131上设有限位槽,在所述活动部133的下端设有与所述限位槽相匹配的限位块,气缸的活塞本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅转移装置,其特征在于,包括:/n支撑架;/n夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;/n位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;/n其中,所述夹持装置包括;/n框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;/n上托架,其位置可调节地设置在所述上框体上,用于从上方固定所述单晶硅棒;/n下托架,其位置可调节地设置在所述下框体上,用于从下方承托单晶硅棒。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅转移装置,其特征在于,包括:
支撑架;
夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;
位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;
其中,所述夹持装置包括;
框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;
上托架,其位置可调节地设置在所述上框体上,用于从上方固定所述单晶硅棒;
下托架,其位置可调节地设置在所述下框体上,用于从下方承托单晶硅棒。


2.根据权利要求1所述的单晶硅转移装置,其特征在于,所述上托架包括:
第一左右旋丝杆,其横向可旋转地架设在所述上框体上,在所述第一左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹;
第一丝母和第二丝母,分别套设在所述第一左右旋丝杆的两端,并与所述第一左右旋丝杆相匹配;
第一移动座和第二移动座,其分别与所述第一丝母和第二丝母固定连接;
第一弧形梁和第二弧形梁,其中部分别与所述第一移动座和第二移动座的下端连接,在所述第一弧形梁和第二弧形梁的两侧分别设有上导轮组;
第一驱动电机,其设置在上框体上,第一驱动电机的输出轴与所述第一左右旋丝杆连接,用于带动所述第一左右旋丝杆旋转。


3.根据权利要求1或2所述的单晶硅转移装置,其特征在于,所述下托架包括:
第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆,其分别可旋转地设置在所述下框体上,在所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆的两端设有相反的螺纹;
第三丝母和第四丝母,分别套设在所述第二左右旋丝杆的两端,并与所述第二左右旋丝杆相匹配;
第五丝母和第六丝母,分别套设在所述第三左右旋丝杆的两端,并与所述第三左右旋丝杆相匹配;
第三移动座和第四移动座,其分别与所述第三丝母和第四丝母固定连接;
第五移动座和第六移动座,其分别与所述第五丝母和第六丝母固定连接;
第一支撑杆,其架设在所述第三移动座和第五移动座之间;
第二支撑杆,其架设在所述第四移动座和第六移动座之间;
一对支撑辊,其分别设置在所述第一支撑杆和第二支撑杆上,用于从下方承托单晶硅棒;
第二驱动电机,其设置在所述下框体上,第二驱动电机的输出轴分别与所述第二左右旋丝杆和第三左右旋丝杆传动连接,用于带动所述第二左右...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘连胜林博洋
申请(专利权)人:锦州神工半导体股份有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁;21

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