测量方法及测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测量方法和测量装置。以代入用于修正测量装置固有的几何的测量误差的修正计算式中的设计值中的多个设计值为变量，通过数值解法将该变量最优化，并使用所得到的最优化修正计算式运算测量值。变量的最优化是，通过测量标准工件，并调整变量以使测量误差最小而完成的。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量方法及测量装置，特别是涉及最适当地修正内置于研磨机等中的机械控制仪器或者光洁度轮廓形状测量器等固有的几何的测量误差的测量方法及测量装置。
技术介绍
内置于研磨机等中的机械控制仪器(自动定尺寸装置)或者光洁度轮廓形状测量器等中使用测头，该测头设置有前端具有探头，能以支点部件为支点支撑并可转动的杠杆式部件；在一个方向上对杠杆式部件施力的施力部件；及，夹持支点部件并设置在探头的相反一侧，并通过检测出杠杆式部件的变位来检测出探头的变位的检测器。该检测器中使用光学数显测量装置或者被称为LVDT(LinearVoltage Differential Trasducer)的线性电压差动变压器(通称差动变压器)等，该光学数显测量装置由固定在测头主体上的读取头和安装在杠杆式部件上的弧形标尺构成，该线性电压差动变压器由固定在测头主体上的差动线圈部和安装在杠杆式部件上并插入差动线圈部内的铁心构成。探头的移动量作为光学数显测量装置的脉冲计数值被检测出来(LVDT的情况下作为电压的变化被检测出来)，该检测值由运算处理部处理，并作为移动量求出。机械控制仪器使用L字型测头或者夹持型测头，L字本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量方法，其是使探头接触工件并测量该工件的尺寸的，其特征在于，存储基于用于修正测量装置固有的几何的测量误差的设计值的修正计算式；测量工件并运算使用所述修正计算式的测量值；以代入所述修正计算式中的设计值中的多个设计值为变量 并通过数值解法将该变量最优化，以使所述被运算的测量值和真值的误差最小；存储将所述被最优化的变量代入的最优化修正计算式；在以后的测量中使用所述最优化修正计算式而运算测量值。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高井望，小栗正明，
申请(专利权)人：株式会社东京精密，株式会社东精工程，
类型：发明
国别省市：JP[日本]