下载测量方法及测量装置的技术资料

文档序号:2510124

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本发明提供一种测量方法和测量装置。以代入用于修正测量装置固有的几何的测量误差的修正计算式中的设计值中的多个设计值为变量,通过数值解法将该变量最优化,并使用所得到的最优化修正计算式运算测量值。变量的最优化是,通过测量标准工件,并调整变量以使测...
该专利属于株式会社东京精密;株式会社东精工程所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东京精密;株式会社东精工程授权不得商用。

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