一种声表面波压力探测器制造技术

本发明专利技术提供了一种声表面波压力探测器，在叉指换能器和第一反射栅间设置第一弹性材料部和第一压电材料块；在叉指换能器和第二反射栅间设置第二弹性材料部和第二压电材料块。使用时，压力作用到第一压电材料块或第二压电材料块上，改变第一压电材料块或第二压电材料块与压电基底之间的距离，改变压电基底内声表面波的共振频率，通过探测该声表面波的共振频率实现压力测量。由于声表面波对压电基底表面附近的形貌、耦合物之间距离非常敏感，所以本发明专利技术具有压力探测灵敏度高的优点。此外，本发明专利技术不需要昂贵的光源和光探测器，成本低，在压力探测领域具有良好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波压力探测器
本专利技术涉及压力探测领域，具体涉及一种声表面波压力探测器。
技术介绍
压力传感器将诸如负载、重量、压力等力学量转换为电信号的传感器，在车辆、飞行器、工业过程、家用电器、航空航天、自动控制等各个领域有着重要的应用。基于电阻变化的传统压力传感器灵敏度低，基于光纤的压力传感器灵敏度高，但是光源和探测器昂贵、成本高。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种声表面波压力探测器，该压力探测器包括压电基底、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一弹性材料部、第二弹性材料部、第一压电材料块、第二压电材料块，第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器置于压电基底上，叉指换能器置于第一反射栅和第二反射栅之间，在第一反射栅和叉指换能器间、压电基底上设置第一弹性材料部，第一压电材料块置于第一弹性材料部上，在第二反射栅和叉指换能器间、压电基底上设置第二弹性材料部，第二压电材料块置于第二弹性材料部上。更进一步地，第一弹性材料部、第二弹性材料部、第一压电材料块、第二压电材料块为条形。更进一步地，第一弹性材料部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声表面波压力探测器，其特征在于，包括：压电基底、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一弹性材料部、第二弹性材料部、第一压电材料块、第二压电材料块，所述第一反射栅、所述第二反射栅、所述叉指换能器置于所述压电基底上，所述叉指换能器置于所述第一反射栅和所述第二反射栅之间，在所述第一反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置所述第一弹性材料部，所述第一压电材料块置于所述第一弹性材料部上，在所述第二反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置所述第二弹性材料部，所述第二压电材料块置于所述第二弹性材料部上。/n

【技术特征摘要】
1.一种声表面波压力探测器，其特征在于，包括：压电基底、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一弹性材料部、第二弹性材料部、第一压电材料块、第二压电材料块，所述第一反射栅、所述第二反射栅、所述叉指换能器置于所述压电基底上，所述叉指换能器置于所述第一反射栅和所述第二反射栅之间，在所述第一反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置所述第一弹性材料部，所述第一压电材料块置于所述第一弹性材料部上，在所述第二反射栅和所述叉指换能器间、所述压电基底上设置所述第二弹性材料部，所述第二压电材料块置于所述第二弹性材料部上。


2.如权利要求1所述的声表面波压力探测器，其特征在于：所述第一弹性材料部、所述第二弹性材料部、所述第一压电材料块、所述第二压电材料块为条形。


3.如权利要求2所述的声表面波压...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：西安柯莱特信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61