镀液分析系统及电极变换装置制造方法及图纸

技术编号:25069400 阅读:25 留言:0更新日期:2020-07-29 06:00
本申请实施例公开了一种镀液分析系统及电极变换装置。所述电极变换装置包括至少一个移动单元和至少一个多电极变换单元;所述多电极变换单元包括电极变换机构和多个电极;所述移动单元用于使所述电极与电解质容器发生相对运动,所述多电极变换单元用于使所述电极运动至指定位置,从而使不同的所述电极可位于所述电解质容器中。所述镀液分析系统包括所述电极变换装置。本申请实施例可实现各个电极的自动切换,可有效整合镀液有机及无机成分的浓度分析在一台恒电位仪上连续自动分析。

【技术实现步骤摘要】
镀液分析系统及电极变换装置
本申请涉及镀液分析
,特别涉及一种镀液分析系统及电极变换装置。
技术介绍
当前镀液中的有机成分即各添加剂的浓度分析,最常用是恒电位仪的循环伏安剥离(CyclicVoltammetryStripping)技术,简称CVS技术。该技术是通过测试样品对在旋转圆盘电极上的电镀沉积速率的响应来确定样品的浓度。而镀液中的无机成分(例如电镀铜镀液中的铜离子、酸及氯离子)的浓度分析,常用化学滴定法来测定。近来为实现自动化分析,无机成分的自动电位滴定法越来越受欢迎。目前,镀液的有机及无机成分浓度的自动分析还没有一个很好的整合方案,现存的两种方案如下文所述。一种是镀液有机成分的浓度分析使用恒电位仪中的循环伏安剥离技术,该技术使用三个电极,分别是旋转圆盘工作电极、对电极及参比电极。旋转圆盘电极起到工作电极及溶液搅拌的双重功能。镀液的无机成分浓度则使用独立的电位滴定仪测定。电位滴定仪需使用工作电极及参比电极的双电极系统,或单一的内置参比电极的工作复合电极,以及溶液搅拌装置(例如磁搅拌子及磁力搅拌器)。另一种是E本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电极变换装置,其特征在于:包括至少一个移动单元和至少一个多电极变换单元;/n所述多电极变换单元包括电极变换机构和多个电极;/n所述移动单元用于使所述电极与电解质容器发生相对运动,所述多电极变换单元用于使所述电极运动至指定位置,从而使不同的所述电极可位于所述电解质容器中。/n

【技术特征摘要】
1.一种电极变换装置,其特征在于:包括至少一个移动单元和至少一个多电极变换单元;
所述多电极变换单元包括电极变换机构和多个电极;
所述移动单元用于使所述电极与电解质容器发生相对运动,所述多电极变换单元用于使所述电极运动至指定位置,从而使不同的所述电极可位于所述电解质容器中。


2.根据权利要求1所述电极变换装置,其特征在于:还包括搅拌电极,所述搅拌电极可对所述电解质容器中的液体进行搅拌。


3.根据权利要求2所述电极变换装置,其特征在于:还包括第二开关,所述第二开关与所述搅拌电极连接,所述第二开关用于启用或中断所述搅拌电极的电极功能。


4.根据权利要求3所述电极变换装置,其特征在于:还包括第一开关;所述第一开关和所述第二开关可将不同的所述电极组合连接至恒电位仪;所述搅拌电极为旋转电极;所述旋转电极的具体形式包括旋转圆盘电极和旋转圆环电极。


5.根据权利要求1所述电极变换装置,其特征在于:所述电极变换机构为电极旋转机构,所述多个电极与所述电极旋转机构连...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙耀峰周卫娟
申请(专利权)人:深圳日山科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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