一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法技术

本发明专利技术涉及散热片制备技术领域，具体涉及一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法。该方法包括如下步骤：步骤A：采用菲林机绘制散热片菲林，并输出所述散热片菲林；步骤B：取一金属散热片，在金属散热片的两表面丝网印刷感光胶，烘干；步骤C：将步骤A输出的散热片菲林与步骤B印刷有感光胶层的金属散热片对准，然后进行曝光；步骤D：将曝光处理后的金属散热片进行显影处理，烘干；步骤E：将显影处理并烘干后的金属散热片进行蚀刻，蚀刻后采用去膜液去除感光胶，则制得不同厚度的散热片。本发明专利技术的蚀刻方法操作简便，可在同一块金属散热片上同时蚀刻不同厚度，提高了蚀刻不同厚度的生产效率，简化传统的蚀刻工艺，成本低，能适用于大规模生产中。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法
本专利技术涉及散热片制备
，具体涉及一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法。
技术介绍
金属散热片在通用散热器中广泛使用的散热配件，而散热片的散发热量与表面积成正比，因而行业内使用各种各种的工艺增加散热片的表面积，以提高散热片的散热效率。目前市面上常见的工艺是在金属材料的表面蚀刻图案，以增加金属材料的表面积。但目前在金属表面蚀刻的工艺基本为一次蚀刻工序只能蚀刻出一种厚度的，无法同时蚀刻出不同厚度的金属散热片，在同一块散热片上蚀刻两种不同厚度或三种不同厚度，则需要进行二至三次的蚀刻，一次蚀刻一个厚度，然后再次涂覆感光胶、再次曝光、再次显影、再次蚀刻，才能蚀刻下一厚度。显然分批次蚀刻不同厚度的工艺效率极低，重复多次繁杂的中间流程，增加了生产成本。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本专利技术的目的在于提供一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，该蚀刻方法操作简便，可在同一块金属散热片上同时蚀刻不同厚度，提高了蚀刻不同厚度的生产效率，简化传统的蚀刻工艺，成本低，能适用于大规模生产中。本专利技术的目的在于提供一种散热片，该散热片通过一次蚀刻具有不同厚度的结构，散热效率高，且安装便捷。本专利技术的目的通过下述技术方案实现：一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，包括如下步骤：步骤A：采用菲林机绘制散热片菲林，并输出所述散热片菲林，所述散热片菲林包括曝光区和非曝光区，所述曝光区包括散热腔部菲林和裙边部菲林，所述非曝光区于所述散热腔部菲林中分布有若干个散热微点，非曝光区于裙边部菲林设置有第一交错网格；步骤B：取一金属散热片，在金属散热片的两表面丝网印刷感光胶，烘干，制得印刷有感光胶层的金属散热片；步骤C：将步骤A输出的散热片菲林与步骤B印刷有感光胶层的金属散热片对准，然后进行曝光，通过散热片菲林中的曝光区将金属散热片表面的对应感光胶部分曝光；步骤D：将步骤C中曝光处理后的金属散热片进行显影处理，烘干；步骤E：将步骤D中显影处理并烘干后的金属散热片进行蚀刻，蚀刻后采用去膜液去除感光胶，则制得不同厚度的散热片。本专利技术的蚀刻方法操作简便，通过在裙边部菲林设置非曝光的第一交错网格，使得在曝光处理后，感光层对应裙边部菲林的位置形成非曝光的交错网格，并对应述散热腔部菲林的位置形成非曝光的若干个散热微点，而感光层的曝光区域在曝光时发生反应，并在显影过程中，显影液与曝光区的感光胶中和、溶解，裸露出金属材料表面，以进行金属材料表面的蚀刻处理；而感光层的非曝光区域（对应包括散热腔中部的若干个散热微点以及裙边部的第一交错网格），在曝光时并未发生化学反应，因而在显影时不存在酸碱中和，使得感光胶保留下来并对金属材料的对应位置遮盖、保护。在蚀刻过程中，蚀刻液在非曝光的交错网格中需渗入至网格的网孔空隙中，使得非曝光的交错网格减缓了蚀刻液对金属材料的直接接触、蚀刻，进而降低了对金属散热片裙边部的蚀刻效率，实现了金属散热片不同位置调整不同的蚀刻厚度，可在同一块金属散热片上同时蚀刻不同厚度，其中，交错网格的网孔密度越大，蚀刻的效率越低。此方法简化了传统在同一块金属材料上蚀刻不同厚度的工序，提高了蚀刻不同厚度金属材料的生产效率，降低了生产成本，能适用于大规模的生产中。优选的，所述步骤A中，非曝光区于裙边部菲林设置的第一交错网格的网孔密度为200-280个/cm2；所述非曝光区于若干个所述散热微点上均设置有第二交错网格，所述第二交错网格的网孔密度为150-180个/cm2。本专利技术通过严格控制第一交错网孔的网孔密度，能调控蚀刻液于金属材料表面的接触表面积，网孔密度越大，金属材料表面与蚀刻液接触的表面积越小，能有效减缓蚀刻液对金属材料的直接接触、蚀刻，降低了对金属散热片裙边部的蚀刻效率，使得对金属散热片裙边部的蚀刻厚度减少；而散热腔部所裸露的金属材料表面积较多，使得蚀刻效率较快。散热腔部的蚀刻效率与裙边部的蚀刻效率差异，使得两部分的蚀刻效果存在差异，进而蚀刻出不同厚度的金属材料部分。若第一交错网格的网孔密度过大，则蚀刻效率过小，使得无法蚀刻出裙边部，无法形成裙边部，难以实现金属散热片的安装；而若第一交错网格的网孔密度过小，则蚀刻效率增大，容易与裙边部的蚀刻效率持平，而难以时刻出两种不同厚度的金属材料。本专利技术设置的第二交错网格为对应若干个散热微点设置，原理与裙边部的第一交错网格相同，交错网格的网孔密度越大，蚀刻的效率越低；因而通过对于散热微点上设置第二交错网格，能蚀刻出不同厚度的散热微点。优选的，所述步骤B中，印刷感光胶后的烘干温度为40-95℃，烘干时间为80-120s；印刷的感光胶为深圳市泽成丰新材料有限公司的柯美特PLUS-8000型感光胶、深圳市泽成丰新材料有限公司的柯美特PLUS-7080型感光胶、无锡市赛特化工有限公司GKSD—2102B型感光胶中的一种。本专利技术严格控制感光胶的烘干温度和烘干时间，能使感光胶固化完全，能对金属材料的对应部分实现遮蔽、保护，若短时间的高温烘干，容易导致感光胶内层未聚合固化完全，进而影响曝光区后续的曝光处理，使得曝光过程的化学反应不完全，导致显影过程中容易被溶解、去除，影响蚀刻效果。而本专利技术采用的感光胶为市面上常见的感光胶，如深圳市泽成丰新材料有限公司的柯美特PLUS-8000型感光胶、深圳市泽成丰新材料有限公司的柯美特PLUS-7080型感光胶、无锡市赛特化工有限公司GKSD—2102B型感光胶等等，或其余市面上常见的感光胶种类，均在本专利技术的保护范围之内。优选的，所述步骤C中，曝光功率为43-50mj/cm2,曝光时间12-18s；能将感光层中对应散热片菲林上的曝光区域实现曝光，其感光胶则在曝光条件下发生化学反应，而未被曝光的感光胶则能在显影处理中溶解、去除；而严格控制曝光功率和时间，能保证感光胶曝光完全，保证后续的显影处理和蚀刻工序。优选的，所述步骤D中，显影处理采用显影液经喷淋处理，然后用去离子水冲洗，再进行烘干；所述显影液包括如下重量份的原料：复合铵20-23份溴化钾8-12份十二烷基氨基丙酸5-7份无水亚硫酸钠4-6份无水碳酸钠5-8份对苯二酚2-4份甲基-4-氨基苯酚硫酸盐1-3份去离子水50-55份。本专利技术通过采用上述的显影液，能对曝光的感光胶进行酸碱中和反应，进而溶解并去除曝光的感光胶，显影处理后采用去离子水冲洗干净显影液并烘干，避免显影液对后续的蚀刻过程中蚀刻液产生影响。其中，本专利技术采用复合铵对曝光区域的感光胶容易中和、溶解，而传统采用单一的铵类（如四甲基氢氧化铵），在低浓度下容易溶胀溶解未曝光的区域而导致曝光图案坍塌和感光层减薄，而本专利技术的复合铵比单一铵类提高了稳定性。而采用的十二烷基氨基丙酸作为显影液的表面活性剂和促进剂，并增加了后续蚀刻液与金属材料的亲密性，改善蚀刻液对光刻胶的亲和力，进而使得蚀刻液能进入至裙边部的交错网格处，对具有交错网格状感光胶层的金属材料表面进行蚀刻，保证裙边部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，其特征在于：包括如下步骤：/n步骤A：采用菲林机绘制散热片菲林，并输出所述散热片菲林，所述散热片菲林包括曝光区和非曝光区，所述曝光区包括散热腔部菲林和裙边部菲林，所述非曝光区于所述散热腔部菲林中分布有若干个散热微点，非曝光区于裙边部菲林设置有第一交错网格；/n步骤B：取一金属散热片，在金属散热片的两表面丝网印刷感光胶，烘干，制得印刷有感光胶层的金属散热片；/n步骤C：将步骤A输出的散热片菲林与步骤B印刷有感光胶层的金属散热片对准，然后进行曝光，通过散热片菲林中的曝光区将金属散热片表面的对应感光胶部分曝光；/n步骤D：将步骤C中曝光处理后的金属散热片进行显影处理，烘干；/n步骤E：将步骤D中显影处理并烘干后的金属散热片进行蚀刻，蚀刻后采用去膜液去除感光胶，则制得不同厚度的散热片。/n

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤A：采用菲林机绘制散热片菲林，并输出所述散热片菲林，所述散热片菲林包括曝光区和非曝光区，所述曝光区包括散热腔部菲林和裙边部菲林，所述非曝光区于所述散热腔部菲林中分布有若干个散热微点，非曝光区于裙边部菲林设置有第一交错网格；
步骤B：取一金属散热片，在金属散热片的两表面丝网印刷感光胶，烘干，制得印刷有感光胶层的金属散热片；
步骤C：将步骤A输出的散热片菲林与步骤B印刷有感光胶层的金属散热片对准，然后进行曝光，通过散热片菲林中的曝光区将金属散热片表面的对应感光胶部分曝光；
步骤D：将步骤C中曝光处理后的金属散热片进行显影处理，烘干；
步骤E：将步骤D中显影处理并烘干后的金属散热片进行蚀刻，蚀刻后采用去膜液去除感光胶，则制得不同厚度的散热片。


2.根据权利要求1所述的一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，其特征在于：所述步骤A中，非曝光区于裙边部菲林设置的第一交错网格的网孔密度为200-280个/cm2；所述非曝光区于若干个所述散热微点上均设置有第二交错网格，所述第二交错网格的网孔密度为150-180个/cm2。


3.根据权利要求1所述的一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，其特征在于：所述步骤B中，印刷感光胶后的烘干温度为40-95℃，烘干时间为80-120s；印刷的感光胶为深圳市泽成丰新材料有限公司的柯美特PLUS-8000型感光胶、深圳市泽成丰新材料有限公司的柯美特PLUS-7080型感光胶、无锡市赛特化工有限公司GKSD—2102B型感光胶中的一种。


4.根据权利要求2所述的一种蚀刻不同厚度制备散热片的方法，其特征在于：所述步骤C中，曝光功率为43-50mj/cm2,曝光时间12-18s。


5.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文涛，张亮旗，王世权，
申请(专利权)人：东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44