【技术实现步骤摘要】
一种加热均匀的立体加热器
本技术涉及一种加热均匀的立体加热器,属于材料蒸发设备
技术介绍
目前市场上立体形状的加热器,多为金属加热丝,并且多进行整体全面加热,加热器两端散热较中间位置多,根据设计工艺的不同要求,加热器有不同的容腔尺寸,当加热器内的容腔容积超过一定范围时,会造成加热器中间的温度较两端的温度高一些,在材料热蒸发领域往往需要加热器整体加热均匀,这样材料的蒸发镀膜速率会更加平稳,故现在亟需寻求一种整体加热均匀的加热器。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供一种加热均匀的立体加热器。本技术的技术方案如下:一种加热均匀的立体加热器,包括加热载体,所述加热载体为圆筒体,加热载体内侧为中空空腔,加热载体表面设有电路涂层,电路涂层包括至少两个涂层区,相邻两个涂层区之间设有过渡区间,每个涂层区均设有电路条,电路条两端为正极接头端、负极接头端,电路条包括并列的两条子电路条,两条子电路条之间设有间隙,电路条在涂层区填充分布,填充的电路条之间设有间隙,电路涂层外侧设有绝缘涂层。不同涂层区的电路涂层可根据不同的电阻参数需要制定相应的形状及分布,当加热器整体应用在蒸镀设备上时,加热器内部放置坩埚,坩埚内盛放蒸发料,在为坩埚提供加热热源时,相比中间区域,端部热量会存在散失,导致整体温度加热不均匀,增加过渡区间,可使对整个坩埚的加热温度更加均匀。优选的,所述电路涂层沉积置于加热载体表面。优选的,过渡区间的高度为至少5mm。优选的,电路条在涂层区螺旋分布, ...
【技术保护点】
1.一种加热均匀的立体加热器,其特征在于,包括加热载体,所述加热载体为圆筒体,加热载体内侧为中空空腔,加热载体表面设有电路涂层,电路涂层包括至少两个涂层区,相邻两个涂层区之间设有过渡区间,每个涂层区均设有电路条,电路条两端为正极接头端、负极接头端,电路条包括并列的两条子电路条,两条子电路条之间设有间隙,电路条在涂层区填充分布,涂层区内填充的电路条与电路条之间设有间隙,电路涂层外侧设有绝缘涂层。/n
【技术特征摘要】
20191213 CN 20192222956811.一种加热均匀的立体加热器,其特征在于,包括加热载体,所述加热载体为圆筒体,加热载体内侧为中空空腔,加热载体表面设有电路涂层,电路涂层包括至少两个涂层区,相邻两个涂层区之间设有过渡区间,每个涂层区均设有电路条,电路条两端为正极接头端、负极接头端,电路条包括并列的两条子电路条,两条子电路条之间设有间隙,电路条在涂层区填充分布,涂层区内填充的电路条与电路条之间设有间隙,电路涂层外侧设有绝缘涂层。
2.根据权利要求1所述的加热均匀的立体加热器,其特征在于,所述电路涂层沉积...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘汝强,王殿春,王之腾,刘庆毅,孙蕾,
申请(专利权)人:山东国晶新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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