一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法技术

本发明专利技术公开了一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法，属于金属材料加工技术领域。通过三火次等温轧制的方法，将EB炉熔炼TC4钛合金铸锭沿着长度方向进行单向轧制，总压下量为86％‑90％。该发明专利技术不仅简化了传统钛合金加工工艺流程，有效降低了生产成本，而且制备得到的TC4钛合金靶材致密度好、显微组织均匀，力学性能满足国际标准的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法
本专利技术属于金属材料加工
，特别涉及一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法。
技术介绍
钛合金具有轻质、高强、耐热、耐蚀、耐超低温和无磁等优良性能广泛应用于航空、航天、生物医学等领域。钛合金靶材是制备军用尖端武器的关键材料，同时是改造提升传统民生工业和技术创新发展的重要材料。在镀膜行业中，钛合金靶材和薄膜被广泛应用于工具、装饰和抗蚀等表面强化薄膜，以及微电子、磁记录、半导体和薄膜电阻等高端技术产业。为了确保沉积薄膜的质量和提高溅射效率，靶材的品质成为关键因素。经过国内外大量研究得出，对溅射靶材质量影响最大的几个因素分别为：纯净度、致密度、尺寸精度、晶粒度、织构等。溅射靶材主要通过熔炼铸造和粉末冶金工艺制备得到。目前，钛合金靶材的制备方法多为粉末冶金工艺，然而，该方法制备得到的钛合金靶材具有气孔率高、致密性不好、成本高等缺点。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法，使用EB炉熔炼TC4钛合金，该方法制备得到的钛合金溅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：/na.将TC4钛合金铸锭使用EB炉熔炼后加热，保温，进行第一次加热处理；/nb.将步骤a得到的板材沿其长度方向进行第一火次轧制，轧制道次为1道次，轧制变形量为50％-75％；/nc.将步骤b所得的板材加热至与步骤a相同的温度，并保温，进行第二次加热处理；/nd.将步骤c所得的板材进行第二火次轧制，轧制方向和步骤b相同，轧制道次为1道次，轧制变形量为17％-55％；/ne.将步骤d所得的板材加热至与步骤c相同的温度，保温，进行第三次加热处理；/nf.将步骤e所得的板材进行第三火次轧制，轧制方向和步骤b相同，轧制道次为1道次...

【技术特征摘要】
1.一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：
a.将TC4钛合金铸锭使用EB炉熔炼后加热，保温，进行第一次加热处理；
b.将步骤a得到的板材沿其长度方向进行第一火次轧制，轧制道次为1道次，轧制变形量为50％-75％；
c.将步骤b所得的板材加热至与步骤a相同的温度，并保温，进行第二次加热处理；
d.将步骤c所得的板材进行第二火次轧制，轧制方向和步骤b相同，轧制道次为1道次，轧制变形量为17％-55％；
e.将步骤d所得的板材加热至与步骤c相同的温度，保温，进行第三次加热处理；
f.将步骤e所得的板材进行第三火次轧制，轧制方向和步骤b相同，轧制道次为1道次，轧制变形量为17％-45％；
g.将步骤f所得的板材进行退火处理，空冷，得到TC4钛合金...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，王萌，蔡军，张卫强，张志波，朱羽，张浩泽，史亚鸣，黄海广，王快社，
申请(专利权)人：西安建筑科技大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61