一种激光焊接装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种激光焊接装置，涉及半导体技术领域。激光焊接装置包括驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，安装架上设置固定件，固定件包括多个固定部，多个固定部与多个反射镜对应设置，驱动件与入射镜传动连接，驱动件用于驱动入射镜转动，使经过入射镜的入射光线，经过反射镜的反射后形成反射光线，反射光线射向固定部，以焊接固定在固定部上的工件。在本发明专利技术中，在驱动件的驱动下，经过入射镜的入射光线依次作用在多个反射镜上形成多个能量密度相同的光斑，从而焊接多个固定部上的工件，提高工件的焊接效果。

【技术实现步骤摘要】
一种激光焊接装置
本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种激光焊接装置。
技术介绍
多点位能量敏感材料涉及同一平面上多个位置的焊接，但同时对入射点光斑能量密度和尺寸一致性要求较高。二维或三维振镜依靠振镜的偏转能够根据规划路径实现高速激光焊接，因此又被称为飞行焊接，焊接过程中能够实现双向或单向的光束摆动，有利于增加激光小孔存在时间和熔池的稳定性，降低气孔和飞溅率。但现有的振镜焊接具有局限性，无法保证多个位置上的材料的焊接能量一致，导致工件的焊接效果差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供了一种激光焊接装置，主要用于焊接能量敏感材料，本专利技术提供的激光焊接装置能够形成多个能量密度相同的光斑，提高工件的焊接效果。本专利技术的实施例可以这样实现：本专利技术实施例提供了一种激光焊接装置包括：驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，所述安装架上设置固定件，所述固定件包括多个固定部，多个所述固定部与多个所述反射镜对应设置，所述驱动件与所述入射镜传动连接，所述驱动件用于驱动所述入射镜转动，使经过所述入射镜的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光焊接装置，其特征在于，包括：驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，所述安装架上设置固定件，所述固定件包括多个固定部，多个所述固定部与多个所述反射镜对应设置，所述驱动件与所述入射镜传动连接，所述驱动件用于驱动所述入射镜转动，使经过所述入射镜的入射光线，经过所述反射镜的反射后形成反射光线，所述反射光线射向所述固定部，以焊接固定在所述固定部上的工件。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光焊接装置，其特征在于，包括：驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，所述安装架上设置固定件，所述固定件包括多个固定部，多个所述固定部与多个所述反射镜对应设置，所述驱动件与所述入射镜传动连接，所述驱动件用于驱动所述入射镜转动，使经过所述入射镜的入射光线，经过所述反射镜的反射后形成反射光线，所述反射光线射向所述固定部，以焊接固定在所述固定部上的工件。


2.根据权利要求1所述的激光焊接装置，其特征在于，所述驱动件用于驱动所述入射镜转动预设角度，使所述入射光线从其中一个所述反射镜转至相邻的所述反射镜。


3.根据权利要求2所述的激光焊接装置，其特征在于，所述相邻的两个所述反射镜的所述入射光线形成入射夹角，任意的两个所述入射夹角相等。


4.根据权利要求1所述的激光焊接装置，其特征在于，所述入射光线的光路与所述反射光线的光路之和形成焊接光路，多个所述焊接光路路径相等。


5.根据权利要求1所述的激光焊接装置，其特征在于，所述激光焊接装置还包括多个聚焦镜，多个所述聚焦镜与多个所述反射镜一一对应设置，所述反射光线...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩善果，蔡得涛，罗子艺，郑世达，
申请(专利权)人：华南理工大学，广东省焊接技术研究所广东省中乌研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44