一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，该制备方法包括：提供钛粉和铝粉；将所述钛粉和铝粉混合均匀；将混合均匀的粉末装填进入包套；对装满粉末的包套进行除气；将除气完成的包套进行热等静压处理，在高温高压下，粉末在包套内部致密并形成锭坯；将锭坯进行机械加工制成钛铝靶材。制备得到的钛铝靶材有以下优点：(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；(3)本发明专利技术所提供的钛铝靶材制备方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材的生产。

【技术实现步骤摘要】
一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法
本专利技术涉及粉末冶金
，尤其涉及一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法。
技术介绍
伴随着物理气相沉积技术的发展与成熟，薄膜及涂层在现代工业中的应用越来越广泛。钛铝靶材通过物理气相沉积技术在工件表面制备氮化物硬质涂层，这种硬质涂层具有高硬度、化学性质稳定、耐高温等特点，从而起到耐磨、防腐、抗氧化等目的，尤其在模具、工具、机械等领域具有广泛的应用。另外，随着现代装饰行业的迅速发展，对装饰材料的颜色及耐磨防腐的要求也越来越高，利用物理气相沉积技术，选用不同原子配比的钛铝靶材，通调整溅射工艺(包括气氛、偏压、温度等阐述)可在工件表面制备出黄色、黑色、玫瑰色等不同颜色的涂层，用于满足对装饰色彩的要求；同时，这种涂层又具有耐磨防腐的功效。目前钛铝靶材的制作方法主要有粉末冶金和真空熔炼两种方法。中国专利技术专利ZL200910043144.4公开了一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺，中国专利技术专利ZL201711034130.7公开了一种钛铝合金靶材的制备方法，以上专利均属于采用热压工艺(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1)将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％，铝粉的原子百分比大于等于5％且小于100％；/n(2)将步骤(1)所述混合均匀的粉末装入包套；/n(3)将步骤(2)所述装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；封焊前应先将除气管砸扁，然后剪断封焊；/n(4)将步骤(3)所述脱气完成的包套进行热等静压处理；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h；/n(5)将步骤(4)所述...

【技术特征摘要】
1.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％，铝粉的原子百分比大于等于5％且小于100％；
(2)将步骤(1)所述混合均匀的粉末装入包套；
(3)将步骤(2)所述装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；封焊前应先将除气管砸扁，然后剪断封焊；
(4)将步骤(3)所述脱气完成的包套进行热等静压处理；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h；
(5)将步骤(4)所述热等静压完成后形成的锭坯进行机械加工制备成钛铝靶材。


2.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：铝粉原子百分比为40～70％，其余为...

【专利技术属性】
技术研发人员：李群，许鹏国，李卫，杨海勇，
申请(专利权)人：河北晟华新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13