一种铬铝硅靶材及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种铬铝硅靶材及其制备方法，该制备方法包括如下步骤：将原料粉末混合均匀，其中铬以铬粉形式加入，粉末粒度为‑300目～+400目；铝以铝粉形式加入，粉末粒度为‑200目～+400目；硅以硅粉形式加入，粉末粒度为‑300目～+400目；装入包套；高温除气，封焊；热等静压，热等静压保温温度为400～500℃。无需冷等静压或其它预压方式，选用合适的粉末粒度，保证了粉末的均匀性，避免了偏析的产生，选用相对较低的合适的热等静压温度400～500℃避免了铝与其它元素例如铬发生化学反应生成脆性金属间化合物的可能。

【技术实现步骤摘要】
一种铬铝硅靶材及其制备方法
本专利技术涉及金属粉末制备
，具体涉及一种铬铝硅靶材及其制备方法。
技术介绍
目前，铬铝靶材被广泛用于在工具和模具表面制备CrAlN涂层，此涂层具有高硬度和低摩擦系数的优点，大大提高了工具和模具的使用性能和寿命。在铬铝靶材中加入元素Si制作成铬铝硅靶材，经过物理气相沉积工艺可在涂层中形成非晶态的Si3N4，其对涂层晶粒的长大具有强烈的抑制作用，从而使涂层晶粒更加细小，达到提高涂层硬度的目的。另外，Si3N4可有效地阻碍氧向涂层内部的扩散，明显提高涂层抗高温氧化性能。中国专利技术专利201310412617.X铬铝硅合金靶材及其制备方法中提到了采用热等静压方法制备铬铝硅靶材，该专利提到的铬铝硅的制备方法存在以下几点有待改进的地方：(1)该方法中需要进行冷等静压处理，加长了生产周期，增加了生产成本，而且由于冷等静压所选用的液态介质会增加粉末污染的机会；(2)选用大于800℃的温度对包套进行热等静压，将在坯料中生成复杂的金属间化合物，可参见Al-Cr系相图，这将给靶材的加工带来极大困难，甚至去皮后坯料由于内应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铬铝硅靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1)将原料粉末混合均匀，其中铬以铬粉形式加入，粉末粒度为-300目～+400目；铝以铝粉形式加入，粉末粒度为-200目～+400目；硅以硅粉形式加入，粉末粒度为-300目～+400目；/n(2)将混合均匀的粉末装入包套；/n(3)将装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；/n(4)将脱气完成的包套进行热等静压处理，热等静压保温温度为400～500℃，保温压力为80～150MPa，保温保压时间2～5h；/n(5)将热等静压完成后形成的锭坯进行机械加工制备成铬铝硅靶材。/n

【技术特征摘要】
1.一种铬铝硅靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将原料粉末混合均匀，其中铬以铬粉形式加入，粉末粒度为-300目～+400目；铝以铝粉形式加入，粉末粒度为-200目～+400目；硅以硅粉形式加入，粉末粒度为-300目～+400目；
(2)将混合均匀的粉末装入包套；
(3)将装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；
(4)将脱气完成的包套进行热等静压处理，热等静压保温温度为400～500℃，保温压力为80～150MPa，保温保压时间2～5h；
(5)将热等静压完成后形成的锭坯进行机械加工制备成铬铝硅靶材。


2.如权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李群，许鹏国，杨海勇，李卫，
申请(专利权)人：河北晟华新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13